电子工业厂房环境振动实测与分析-北京玛格泰克科技发展有限公司.PDFVIP

第３２卷 第３期 桂 林 理 工 大 学 学 报 Ｖｏｌ３２Ｎｏ３ ２０１２年８月 ＪｏｕｒｎａｌｏｆＧｕｉｌｉｎＵｎｉｖｅｒｓｉｔｙｏｆＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ Ａｕｇ．　２０１２  文章编号：１６７４－９０５７（２０１２）０３－０３８１－０５　　　　　 ｄｏｉ：１０３９６９／ｊ．ｉｓｓｎ１６７４－９０５７２０１２０３０１８ 电子工业厂房环境振动实测与分析 高广运，李　佳，张　博，柴俊磊 （同济大学 ａ地下建筑与工程系；ｂ岩土及地下工程教育部重点实验室，上海　２０００９２） 摘　要：采用高灵敏度加速度传感器，测试烟台某高科技电子工业厂房环境微振动，获得了各测点的 加速度时程数据。采用国际上通用的１／３倍频程法对测试数据进行了处理，对结果进行了比较与分 析，得出了厂房微振动响应。 关键词：电子工业厂房；微振动；加速度时程；１／３倍频程 中图分类号：ＴＵ３７５４　　　　　　　　　　　　　文献标志码：Ａ 近年来，随着我国高科技的迅速发展和产业化 １　工程概况 进程的加快，大量高科技厂房（如微电子、激光、 纳米材料、光学仪器等）开始兴建。高科技设备对 某高科技电子工业厂房位于烟台市开发区， 环境振动非常敏感，要求严格的工作环境，例如， 距离测试场地东侧１４４ｍ为南北方向城市主干道， 台式光点反射检流计、硬度计、色谱仪、温度控制 车流量大，每天有大于７０辆的大型货运车经过该 仪等，这些仪器和设备的竖向振动位移允许值为 干道，会造成较大振动；南侧为一东西向城市道 ［１］ １００ ｍ，竖向振动速度允许值为０５ｍｍ／ｓ 。对 路，车流量小。西侧为开发用地，北侧 １５０ｍ处 μ 微电子厂房设计提出了更严格的要求。因此，对高 有一印刷厂，东侧 ８００ｍ处为海滩。厂房位置如 科技电子工业厂房进行振动测试分析，可检验设计 图１示。因此该场地微振动的高频成分主要由近 是否满足振动控制的要求［２－４］。目前高科技厂房 处车辆、动力机器基础等振源产生，而低频微动则 大都建在城市的高新技术开发区，相邻的地面交 由波浪、风载等长周期振源引起。 通、城市轻轨和地铁等引起的环境噪声和振动不可 根据设计方提供的相关资料和车间生产工艺 避免，因此要求厂房结构具有较好的防微振性能， 要求，微振动控制标准见表１。 ［５］ 保证厂房内的精密仪器设备正常运行。Ａｍｉｃｋ 认 为，均方根（ＲＭＳ）是一种较好的频域分析方法，可 评价微电子等精密仪器设备的环境振动。Ｇｏｒ ［６］ ［７］ ［８］ ｄｏｎ 、Ｒｏｍｄｈａｎｅ 和Ｎｉｓｈｉｙａｍａ等 提出了评价振 动敏感仪器的环境振动的标准曲线（ＶＣ曲线），这 些为振动防治措施提供了设计依据。 本文结合烟台某高科技电子工业厂房的振动 现场测试，分析了厂房的振动特性，获得了一些结 论，为该工程的防微振设计提供了依据，对类似微 电子厂房的环境微振动测试和分析具有一定的借 图１　厂房位置示意图 鉴意义。 Ｆｉｇ１　Ｓｃｈｅｍａｔｉｃｄｉａｇｒａｍｏｆｐｌａｎｔｌｏｃａｔｉｏｎ 　收稿日期：２０１２－０５－２４ 　基金项目：国家自然科学基金项目 ；上海市重点学科建设资助项目 （Ｂ３０８） 　作者简介：高广运 （１９６１—），男，博士，教授，博士生导师，岩土工程专业，ｇａｏｇｕａｎｇｙｕｎ＠２６３ｎｅｔ。 　引文格式：高广运，李佳，张博，等．电子工业厂房环境振动实测与分析［Ｊ］．桂林理工大学学报，２０１２，３２（３）：３８１－３８５． ３８２ 桂　林　理　工　大