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E2100-7KMD__操作手册_RD-SOP-03003_A1
川 寶 科 技 股 份 有 限 公 司
C h i m e B a l l T e c h n o l o g y C o . , L T D
版 本 A 1
E2100-7KMD
研發部 文 件 編 號 RD-SOP-03003
操作手冊
頁 號 1/35
版本修訂表
版本 制訂日期 修訂內容 制訂者 備註
A0 2003/02/20 初次發行 陳永勝
A1 2008/05/28 修訂文件版面及內容 吳慧君
川 寶 科 技 股 份 有 限 公 司
C h i m e B a l l T e c h n o l o g y C o . , L T D
版 本 A 1
E2100-7KMD
研發部 文 件 編 號 RD-SOP-03003
操作手冊
頁 號 2/35
目 錄
1機台簡介…………………………………………………………………………………… P3
1.1 機台各部份操作功能簡介…………………………………………………………….. P3
1.2 壓力 / 溫度面板………………………………………………………………………. P3
1.3 控制面板……………………………………………………………………………….. P4
1.4 曝光台前方雙手啟動按鈕…………………………………………………………….. P4
1.5 主電源開關…………………………………………………………………………….. P4
1.6 氣壓總表……………………………………………………………………………….. P4
2 流程圖…………………………………………………………………………………….. P5
3 工作前檢查與機台開機…………………………………………………………………… P6
3.1 開機前檢查…………………………………………………………………………….. P6
3.2 啟動機台主電源……………………………………………………………………….. P10
3.3 機台點燈……………………………………………………………………………….. P11
3.4 原點復歸……………………………………………………………………………….. P15
3.5 底片及曝光台面清潔………………………………………………………………….. P17
4 設定與輸入資訊…………………………………………………………………………… P18
4.1 設定工件資訊………………………………………………………………………….. P18
4.2 架設底片……………………………………………………………………………….. P20
5 機台關機程序……………………………………………………………………………… P29
5.1 機台曝光
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