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犕犈犕牦设计中的5维六面体网格划分-光学精密工程
第 卷 第 期 光学 精密工程 １７ ６ Ｖｏｌ．１７ Ｎｏ．６ Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 年 月 ｐ ｇ ｇ ２００９ ６ Ｊｕｎ．２００９ 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２００９０６１４４８０５ 犕犈犕犛设计中的２．５维六面体网格划分 严 伟，张筱朵，徐 帆，徐 波 （江苏英特神斯科技有限公司，江苏 南京 ２１０００５） 摘要：介绍了一种用于ＭＥＭＳ设计的六面体网格划分方法。ＭＥＭＳ工艺决定了大部分 ＭＥＭＳ模型都是层状结构，本文 针对这种结构提出了一种简便的 维划分方法，适用于所有面平行于（， ）平面或者 轴的层状结构。该方法在 ２．５ 狓 狔 狕 （， ）平面内将模型划分为四边形网格，然后在 方向延伸形成六面体。相比于如今使用最多的 划分算法，它在 狓 狕 Ｓｗｅｅ 狔 ｐ 划分前的预处理更少，由于仅仅需要输入划分大小，使得整个划分过程更加方便，速度也比Ｓｗｅｅ方法快了 １０ １０００ ｐ ～ 倍， 个六面体以内的划分可在 内完成。同时，该方法也可以通过输入工艺过程参数按照实际 工艺步 １００００ １０ｓ ＭＥＭＳ 骤产生 维 模型，完成从 维版图到 维网格的直接生成。 ３ ＭＥＭＳ ２ ３ 关 键 词：微机电系统； 维六面体网格划分； 维结构 ２．５ ２．５ 中图分类号： 文献标识码： ＴＰ３９１ Ａ 犜狑狅犪狀犱犪犺犪犾犳犱犻犿犲狀狊犻狅狀犺犲狓犪犺犲犱狉犪犾犿犲狊犺犻狀 犳狅狉犕犈犕犛犱犲狊犻狀 犵 犵 ， ， ， ＹＡＮＷｅｉＺＨＡＮＧＸｉａｏｄｕｏ ＸＵＦａｎＸＵＢｏ （ ， 犑犻犪狀狊狌犐狀狋犲犾犾犻犛犲狀狊犲犜犲犮犺狀狅犾狅 犆狅．犔狋犱．犜犻犪狀犪狀犐狀狋犲狉狀犪狋犻狅狀犪犾
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