有哪些信誉好的足球投注网站- 1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
- 2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
- 3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
单晶硅放电蚀除机理研究及有限元分析李健刘志东邱明波等单晶硅放电蚀除机理研究及有限元分析李健刘志东邱明波田宗军汪炜南京航空航天大学南京摘要提出了单晶硅电火花加工蚀除机理假设认为热应力在放电蚀除过程中起主要作用建立了单晶硅电火花线切割放电模型利用有限元法模拟了在单脉冲放电条件下单晶硅的温度场及热应力场分布分别计算了单晶硅在温度场和热应力场作用下的蚀除量并与实际放电切割蚀除量进行了对比结果表明实际蚀除量近似等于模拟得到的温度场与热应力场蚀除量之和验证了对单晶硅电火花加工蚀除机理所作假设的正确性关键词单
单晶硅放电蚀除机理研究及有限元分析———李 健 刘志东 邱明波等
暋 暋 暋
单晶硅放电蚀除机理研究及有限元分析
李 健 刘志东 邱明波 田宗军 汪 炜
暋 暋 暋 暋 暋 暋
, ,
南京航空航天大学 南京 210016
:
文档评论（0）