氮化硅膜的表面氧化对特性影响的研究-中国科技论文在线.PDFVIP

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2018-08-18 发布于天津
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氮化硅膜的表面氧化对特性影响的研究-中国科技论文在线

第卷第期半导体学报 , 年月弓 , 二二出二之二二二二二二二一一圈留二一一一一氮化硅膜的表面氧化对一特性影响的研究牛文成学学 , 南开大电子科系天律年月日收到年月日收到修改稿本文提出一种用高压蒸煮来处理氮化硅摸的表面 , 可以抑制使用中慢氧化的方法使用这种处理可以提高一的灵敏度、线性响应范围和稳定性在此基础上 , 再用面 , 一到 , 进行表改性处理不仅使