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第卷第期光学精密工程年月文章编号原子力显微镜测量双光子成型点的弹性模量苏亚辉陈宇航董磊郑志军郭锐肖诗洲黄文浩中国科学技术大学精密机械与精密仪器系安徽合肥中国科学技术大学纳米结构与物理研究室安徽合肥中国科学技术大学材料力学行为和材料设计研究实验室安徽合肥摘要提出了一种飞秒激光双光子成型点弹性模量的测量及结果分析方法借助于原子力显微镜选用无针尖探针对成型点的力学性能进行了测试建立了椭球平面接触的弹性力学模型考虑了成型点剩余部分形变对结果分析的影响在标定微探针弹性系数和对粘附力进行分析的基础上提取了力
第 卷 第 期 光学 精密工程
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