大宽厚比悬空薄膜的制备与性能分析研讨.pdfVIP

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2018-01-11 发布于广东
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大宽厚比悬空薄膜的制备与性能分析研讨.pdf

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第19卷第5期传感技术学报 V01．19No．5 AND 2006年10月 CHINESEJOURNALOFSENSORSACTUATORS Oct．2006 Fabrication andCharacterizationofFree StructureMembrane Standing with Width—ThicknessRatio High Ll Bo’，xU(、hen，ZHAoHui，ZHAoLin-lin，HUoWen-xiao．SoNGYi—chao，SHEN Guang—di Electronic andControl (Collegeof Information Engineering，BeijingUniversityofTechnology， 100022，China) BeiiingOptoelectronicTechnologyLaboratory，Beijing free structurefilmisa ofMEMSdevice．WeusedPECVD to Abstract：The standing keypart equipment lowstressSiNxfilmandfabricated aniso— deposit boron-dopedP+一siliconfree-handingdiaphragmusing wet ratioofwidththicknessof isabout tropicetchingtechniques．The to p+一siliconfree-handingdiaphragm 3 000：1．The of filmis modulus SiNx 9000：1．Wemeasuredits nanoin— correspondingfigure Young’S by the the these of filmand thedifferenceof twomethods． dentation，analyzeddynamicperformance compared width—thickness structure Keywords：high ratio；freestanding film；Young’S EEACC：2575B 大宽厚比悬空薄膜的制备与性能分析研究李博”，徐晨，赵慧，赵林林，霍文晓，宋义超，沈光地 (北京工业大学电子信息与控制工程学院，北京市光电子技术实验室，北京100022) 摘为3000：1的悬空浓硼si薄膜和宽厚比为9 的杨氏模量．比较了两种方法的优劣．关键词：大宽厚比；悬空薄膜；杨氏模量；纳米硬度计