日本电子特气业的技术与市场新观察.docx

2014年11月全国特种气体第十八次年会论文集17日本电子特气业的技术与市场新观察祝大同(中国电子材料行业协会经济技术管理部，北京100006)摘要：综述了在2013年～2014年上半年问日本半导体用电子特气方面的市场变化及技术开发新进展。关键词：日本；电子特气；半导体：市场1概述美国与日本是世界两个最大的电子特气生产国家。日本将电子特种气体又称为半导体(含液晶显示) 用特气(本文下面仍惯称为“电子特气”)。根据日本有关机构统计，2013年日本的电子特气业的市场规模达到1498亿日元(约合15．34亿美元)，年增长率为8％。日本电子特气业由两大制造行业构成，即电子特气产品制造和与电子特气相关的设备、设施的制造。在上述2013年销售额数据中，其中电子特气业为910亿日元，年增长率为1．2％；电子特气设备业为588亿日元，年增长率为20％(见图1)。图11996年～2013年日本的电子特气的市场规模日本产业、医疗气体协会(JIMGA)下属的特种气体企业发展规划委员会，在2014年7月公布 了2013年度日本国内企业电子特种气体在产销情况。在2013年，日本以半导体领域应用为主的电子特种气体产品，总销售额达到522亿日元(约合5．34亿美元)，比2012年下降了2％。2011年的东日本大地震及泰国的洪水灾害引起的对日本电子特气市场的冲击，在这两、三年一直影响着日本电子特种气体整体市场的恢复。加之2012年又因液晶显示业和太阳电池市场的不景气增长，造成2013年日本电子特气销售额出现负增长。收稿日期：2014-08—1218祝大同：日本电子特气业的技术与市场新观察2014年11月从表1的统计数据看，2013年的日本电子特气中销售额明显上升的特气产品有：高纯氨气(NH3， 年增长率3％)、乙硼烷(B2H6，年增长率74％)、三氟甲烷(CHF3，年增长率6％)、八氟丁烷(C2F6，年增长率8％)、三氟化氮(NT3，年增长率7％)、氧化亚氮(N20，年增长率29％)等。而在2013年出现销售额较大幅度下降的特气产品有：砷化氢(ASH3，年增长率．19％)、六氟乙烷(C2F6，年增长率．15％)、高纯氯气(C12，年增长率．26％)、磷化氢(PH3，年增长率．30％)、四氟化硅(SiF4，年增长率．10％)、TEOS((C2H50)4Si，年增长率-lO％)、六氟化钨(WF6，年增长率-5％)(见表1)。 表12012年～2013年主要电子特气在日本国内市场销售量实际情况统计2013垒2012年电子特气名称化学式需求量年增长率需求量年增长率kg％蚝％砷化氢AsH310，8001．1913，300．19乙硼烷B2H6680f74390．28三氯化硼BCl3102，900 1．2105，400．13四氟化碳CF4500，600f3484。3002三氟甲烷CHF382，900f678，3002六氟乙烷C2F6175，500I．15206，500-9八氟丁烷C4F856，100f851,8007高纯氯气C12247,000I．26347，80041锗烷GeI-14240O2400溴化氢HBr91，600 I．495，900．11高纯氨气NH32，919，000f32，842，20014三氟化氮NF31,694，200 f7l，588，800．3氧化亚氮N20951,300t29739，50025磷化氢PH38，0001．301l，5007高纯硅烷(甲硅烷)SiHd373，500t163230，500．40二氯二氢硅烷Si2H2C12256，300f54166,100．4四氟化硅SiF45,4001．106，0005TEOS(正硅酸乙酯)(C2I-150)4Si380,8001．5399．6002六氟化硫SF6240，000l一1243，000．9六氟化钨f缛96，000{．5100。000．3有机金属2，2501．263，0409其它(H2Se、BF3、SiHCl3、Si2H6等)年需要金额(亿日元)522．2534．13(资料来源：IIMGA特种气体企业发展规划委员会，2014．7)2各主要应用市场对电子特气需求情况与分析在日本，2013年间电子特气的各个主要应用市场的需求情况优劣分明。 在液晶显示的特气市场，2012年由于大型液晶面板市场的不景气，带来了它们使用特气的需求量的下跌。这一个影响，一直延续到2013年的下半年才得到好转。一些重要的特气(如高纯氨气、三氟化 氮等)，不断下降的产品价格在下半年才趋于稳定。尽管在为大型液晶显示器配套的特气在2013年间的2014年11月全国特种气体第十八次年会论文集19销售量有所缩减，但由于智能手机、平板电脑用中小型液晶显示面板的市场还是很好。 在硅基半导体的特气市场，2013年间智能手机、汽车电子领域对