2012物理与环境部门岗位晋升推荐人员情况-SSRF.PDFVIP

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2017-12-31 发布于天津
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2012物理与环境部门岗位晋升推荐人员情况-SSRF

SSRF/SINAP Preparation of nano-periodic structures based on XIL Yanqing Wu On behalf of XIL team @SINAP • SSRF 2017.11.21 提纲一、XIL技术及上海光源XIL线站介绍二、基于XIL的纳米周期结构制备技术三、典型用户成果上海光源：中能第三代同步辐射光源上海光源是我国迄今建成的规模最大的大科学装置，由150MeV 电子直线加速器、全能量增强器、3.5GeV储存环、首批7条光束线站、配套的建筑安装与公用设施等组成，总投资14.3亿。首期7条光束线站 3.5GeV电子储存环总长432m 全能量增强器 C=180m 150MeV电子直线加速器上海光源总体性能位居国际领先行列目前上海光源运行的公用光束线站  生物大分子晶体学线站 (17U1)  X射线小角散射线站(16B1)  硬X射线微聚焦及应用线站(15U1)  衍射线站 (14B1)  XAFS线站(14W1)  X射线成像及生物医学应用线站(13W1)  软X射线谱学显微线站(08U1A) 分时使用软X射线干涉光刻分支线站（08U1B）软X射线干涉光刻（XIL)技术  多光栅衍射光无色差干涉  只需空间相干光光栅方程： d•sinq=N•l 双光栅掩膜双光束干涉： p=l/(2•sinq) N=1 图形周期四光栅掩膜 = 2 双光栅掩膜 = 3 三光栅掩膜 = 2 四光栅掩膜不同纳米图形生成方法比较电子束刻写纳米压印扫描探针刻写软X射线干涉光刻分辨率高高高高投片率有限高有限中等电荷效应