MP700型磁控溅射操作规程.docVIP

本文由豆豆相传批量上传(关于豆豆相传，请访问：) | [名称]MP700型磁控溅射操作规程.doc [大小]41984 [时间]2010/4/17 7:52:44 [编辑]2010/4/17 7:52:44 MP700型磁控溅射操作规程.doc  摘要：本文由豆豆相传批量上传(关于豆豆相传，请访问：) | [名称]MP700型磁控溅射操作规程.doc [大小]41984 [时间]2010/4/17 7:52:44 [编辑]2010/4/17 7:52:44 关键词：豆豆相传 MP700型磁控溅射操作规程 类别：其它MP700型磁控溅射操作规程 开机： 开分子泵水冷，开空压机气阀，打开前极阀（泵1），开气动阀，开机械泵1，2。 下面板压强为10-1Pa时关前极阀，开预抽，开分子泵电源，按启动按钮。 压强5Pa以下，同时分子泵达400Hz时，关预抽，开前极阀。 气压在5Pa以下可以打开闸板阀1，开闸板阀2前必须关闭气动阀，如不开闸板阀2则气动阀可一直打开。 射频电源打开预热10分钟。 通气，开截止阀，开阀控，调节气体流量旋钮（氩气），开射频，调节射频清洗功率。调节C1+C2使Reflected指针最低（气压在1×100Pa左右，可通过关闭闸板阀1来进行调节）。分子泵如未启动，则其示数会闪烁，启动后示数是稳定的。 送样品过程：手摇到91cm处（升降钮指↑）放下升降钮，继续摇至95cm左右，听到嗒的一声后手摇后退至91cm以后再抬起升降钮。 取出样品过程：放下升降钮摇至95cm处抬起升降钮，后退至样品室。 关闭射频清洗电源（功率先降到最低） 烘烤处理，设定烘烤温度，按工作键。 关机： 关闭气瓶阀门，关闭气体，旋钮调至最低 关闭截止阀 关分子泵闸板阀1 关分子泵电源，按停止后等待400Hz降至0Hz，然后关总电源 电源上电菜单上关闭电源（靶电源和射频电源） 关前极阀，关机械泵1，2 手摇样品杆至黄色按钮处，关闭样品库与镀膜室间的插板阀 关闭总电源 关闭循环水及阀门；关闭气泵阀门。 溅射电源0.5A 450V 60% 注意事项： 空压机：开始实验前打开空压机气阀，实验完毕后关闭气阀。 气体瓶：实验结束后关闭气瓶阀门，防止气体泄漏。 循环水冷：开始试验前将水冷机的两个阀门打开（位于水冷机后面最下方），实验完毕后将阀门关闭，防止循环水渗漏。 上盖提升：方法1：确认机械手退回原位；确认闸板阀2（位于样品室与镀膜室中间）关闭；打开分子泵上方的镀膜室气阀放气，放气完毕后可以进行上盖提升操作。方法2：确认机械手退回原位；打开闸板阀2；打开样品室下方的样品室气阀将样品室与镀膜室共同放气，放气完毕后可以进行上盖提升操作。 异常断电：迅速关闭分子泵闸板阀1；关闭主机电源、分子泵电源、循环水冷电源；关闭水冷机阀门、空压机阀门、气瓶阀门；复位所有按钮。待确认电力系统恢复后，进行正常的开机操作，确认各部分是否能够正常工作。 循环水冷异常：迅速关闭分子泵闸板阀1；按正常顺序关闭分子泵，如分子泵按键已经保护锁死则直接关闭分子泵电源；关闭循环水冷电源与阀门；然后按照关机顺序关机（跳过第3、4步）。待确认循环水冷系统恢复后，进行正常的开机操作，确认各部分是否能够正常工作。 插板阀使用：使用圆盘轻轻的转动插板阀，尽量减少使用摇柄开关阀门的次数。关闭阀门时拧到十字螺钉中心对准白线标志位时停止，力量要适中。 注：建议本底真空5×10-4Pa，氩气：20，磁性靶起辉：0~10Pa。熟悉操作规程之后，可以根据本次的试验目的适当的调整操作顺序，但是初期熟悉操作和试验环境时一定要严格按照操作规程进行，同时每次要详细填写MP700磁控溅射使用记录表。 建议基片清洗步骤： （1）用洗涤剂清洗玻璃基片（带一次性手套）。 （2）将清洗过的玻璃基片再用去离子水进行超声波清洗10min。 （3）配制稀硫酸，并用其对玻璃基片进行加热清洗。 （4）用去离子水对玻璃基片进行超声波清洗10min。 （5）用自配的玻璃水清洗玻璃基片，并超声波清洗10min。 （6）用去离子水对玻璃基片进行超声波清洗10min。 （7）用丙酮对玻璃基片进行超声波清洗10min。 （8）用去离子对玻璃基片进行超声波清洗10min。 （9）用无水乙醇对玻璃基片进行超声波清洗10min。 （10）将清洗过的基片置于无水乙醇中备用（用前进行烘干）。  　　本文系用户使用豆豆相传[FinDoc.CN]批量上传的结果，文中内涉及到的资料均由用户自行上传，用于学习交流经验，作品其著作权归原作者所有。不代表豆豆相传[FinDoc.CN]赞成本文的内容或立场，豆豆相传[FinDoc.CN]仅为批量上传辅助工具，不对其付相应的法律责任！ 信息记录物理与材料研究室 地址：北京航空航天大学物理系，主楼北406