半导体电学特性四探针的测试技术的研究现状.pdfVIP

下载本文档

12
0
约2.54万字
约 8页
2017-12-16 发布于未知
举报
版权申诉

半导体电学特性四探针的测试技术的研究现状.pdf

1、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

第档卷第3期真空 VACUUM V01．48,No．3 2011年5月 May．2011 半导体电学特性四探针测试技术的研究现状掌李建昌，王永，王丹，李永宽，巴德纯 (东北大学，机械工程与自动化学院真空与流体工程研究中心，辽宁沈阳‘110004) 摘要：四探针法是材料学及半导体行业电学表征较常用的方法，其原理简单，能消除接触电阻影响，具有较高的测试精度。由厚块原理和薄层原理推导出计算公式，并经厚度、边缘效应和测试温度的修正即可得到精确测量值。据测试结构不同，四探针法可分为直线形、方形、范德堡和改进四探针法，其中直线四探针法最为常用，方形四探针多用于微区电阻测量。本文综述了四探针测试技术的基本理论，包括四探针法的分类、原理和修正，并阐述r四探针测试技术在微观领域的发展。关键词：四探针法；半导体表征；微观四点探针；电阻率：中图分类号：TN307 文献标识码：A 文章编号：1002—0322(2011)03—0001—07 for ofthe semiconductor Progressfour-probetechnique conductivity LI De—chun Yong，WANGDan，LIYong—kuan，BA Jian-chang，WANG Mechanical (Schoolof EngineeringAutomation，NortheasternUniversity，Shenyang110004，China) for methodisoneofthemostcommonmethods theelectrical inmaterialscience Abstract：Four-probe studying properties andsemiconductorindustries its andminordemandon calculation tO owing highaccuracy samplepmparation．Theequations canbederived theinfinitetwo—dimensionalorthroe-dimensionalcan accuratemeasuroment byusing theories，whichgive resultsafter theeffectsof and methodCanbedividedintomodesof correcting thickness，edgetemperature．FoOr—probe methods．Thelinemodeis mostused derPauwand the straightline，square，Van manyimproved