IC FAB 厂务系统简介.pptVIP

FAB Utility 說明(一) 廠房 : FAB : 3F, (微震規格 ≦ 125u”/s) 5F, (微震限制 ≦ 500u“/s), EQ地震保護必須加強. Clean Room : Class-100T/SMIF , MUA 有水洗功能對酸 鹼離子有少許去除功能, 但對濕度控制能力較佳。 Process Gas : 由 Module 決定材料品質, 管路傳送系統可達 ppt level, 管線/管件為 Electro polished S.S. Chemicals : 由 Module 決定材料品質, 管路傳送系統可達 ppt level, 管線管件為 PVDF. Bulk Gas : PN2, PO2, PH2, PAr, PHe, purifier . (≦ 1 ppb) UPW : RS ≧ 18.25M?, impurity 可達 1ppb 水準. FABUtility 說明(二) 環境偵測 :1. 消防, 毒氣和 一般FAB相同, 但增加C/R 地板漏液偵測功能. 2. 並採用符合NFPA(美國國家防火拹會)標準之Wet Sprinkle. Exhaust : 1. 為避免大型管線堵塞, 請 Module 機台能裝適當之 Local Scrubber, 做好對前置處理, 以增加系統管線之壽命. 2. 不採用塑料管線, Fab 採用不鏽鋼管加 + Teflon liner 抗化學反應特性佳, 且對防火風險能力大幅提昇. Drain : 為達環評水資源回收 ≧ 85% 目標, 特增設回收水再生處理系統, 但需 Module 配合增加分流控制的軟硬體. PCW : 採密閉循環系統, 水質控制較佳, hookup 管線採用焊接方式, 漏水 問題會比 Fab-2 少. 和 EQ 銜接部分仍用高壓軟管, 要特別注意管 線保護且拆裝時要特別注意. 其他 : 未和晶片直接接觸之廠務系統, 如 City Water, CDA, PV, NG, LPG, 廢水處理, 廢氣處理,… 等系統能力與品質大致和 FAB-2 相同. Performance Criteria of Utility Supply System Clean room Class Temperature Humidity Mini-environments .1 at 0.1?m 22.5 ? 0.1oC 43 ? 2% (45+/-2%)? Production Area 100 at 0.3?m 22.5 ? 0.5oC 40 - 50% Process Support (production) 100 at 0.3?m 22.5 ? 0.5oC 40 - 50% Process Support (non-production) 1,000 at 0.3?m 22.5 ? 2oC 40 - 60% Bulk Gases N2 O2 H2 H2O CO CO2 THC Part. (ppb) (ppb) (ppb) (ppb) (ppb) (ppb) (ppb) (pcs/ft3) General Nitrogen -- 10 10 10 10 10 10 1 Process Nitrogen -- 1 1 1 1 1 1 1 Process Oxygen -- -- 1 1