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2017-12-14 发布于江西
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BRUKE AFM教育訓練

EDGE系統架構April 2011 AFM系統架構 AFM　原理簡介：接觸式（contact mode) AFM　原理簡介輕敲式 Tapping mode 開機與開啟軟體 1.開電腦 2.開NanoDrive電源 3.執行NanoDrive軟體 (DSP code → OK, Turn HV on → Yes) 4.選擇模式：Tapping 5. 選擇下方的程式如 P GaN loss等 AFM初始化 stage initial Navigator 視窗進入 Surface Control Stage Initial Initail時的動作順序為 1. 掃瞄頭上升至最高處(為預防撞到任何東西) 2. CCD鏡頭退至最後 3. 樣品載台移動至原點(最右邊內側) 完成後軟體會問是否回到initial前之XY座標，請按yes。否則CCD鏡頭會看不到探針跟樣品基本操作順序 Sample放置 (單片stage) Sample放置 (9片stage) 存檔路徑設定讀取自動掃描坐標點退出樣品使用Navigate視窗，進入load選項，按下unload sample 電腦真空控制盒主控制器 NanoDrive 防震桌顯微鏡本體操作螢幕掃瞄頭 CCD 鏡頭真空開關外加功能連接頭掃瞄頭連接頭樣品載台 0 Tip-sample distance Amplitude ~ 200mV Tip-sample distance ~300um Tip-sample distance 0~10nm Engage 儀器設定 Detector信號下針掃描主功能視窗 IV curve視窗 XY信號視窗，少用多點定位功能數位信號電表，少用數位信號示波器，少用基本上功能的流程為從左至右一項一項執行即可完成量測共振頻率離針將試片放置於Chuck紅色圓圈處並確定Wafer平邊朝向兩螺絲洞處。待試片放置妥當後將機台右上方VACUUM Swith撥至ON使試片吸附於Chuck上。存檔路徑檔名打開掃瞄視窗選擇自動掃瞄程式（control stage program move ) * *