四极质谱技术在溴冷机制造工艺中应用.pdf

36一 ■技术交流 石油和化工设备 一 2013年第16卷 四极质谱技术在溴冷机制造工艺中的应用 陈一峰，徐金礼 (双良节能系统股份有限公司，江苏江阴214444) [摘 要]指出了质谱分析技术在溴冷机制造工艺中应用的重要性。利用四极质谱计 (QMS)组成的ZQA一403型多种示漏气 体分析仪可同时对制冷机多个系统检测漏率、快速找出漏气点，与氦质谱检漏方法相比，具有 “多快好省”的特点。 [关键词]四极质谱计 (QMs)；溴冷机；气密性；泄漏率；氦质谱检漏；真空 溴化锂吸收式冷水机组 (以下简称溴冷机) 的工艺控制；在高真空和超高真空范围用于高能 是以热能为动力，以水和溴化锂溶液为工质对的 粒子加速器、热核聚变、表面科学等尖端研究领 低耗电、低噪音的环保型制冷机。溴冷机对机体 域：在极高真空范围用于其它星球大气层表面状 内部的气密性要求极高。若机组内部有微量的不 态核深度宇空环境的探测。 凝性气体 (H 、N 、0 )将会对机组性能产生严 1．1四极质谱计 (QuadrupoleMassSpectrometer) 重影响。不凝性气体的增加，会导致溴冷机出现 工作原理 严重的制冷量衰减。因此，提高机组的气密性， 四极质谱计 (QMS)是根据不同质荷比的离 防止空气漏入机组，保证机组的良好真空状态， 子在直流一高频四极分析场 中运动轨迹的稳定与 是保证机组性能的基本条件。目前我公司生产的 否来实现质量分离的。其质谱仪探头主要 由离子 溴冷机泄漏率控制在不大于1o-lOpa．m ／s，比日本 源、孔电极、四极杆分析器、离子收集极等四部 工业标准JISB8622中规定 (2．03×l0一Pa．m ／s)高 分组成 。四极杆是四根平行对称安装的双 曲线形 10000倍。 截面的电极杆。收集极有采用法拉第筒直接收集 要保证溴冷机的高气密性，在生产过程中必 离子的，也有采用电子倍增器，经倍增后再收集 须进行检漏 。常用的检漏工艺有正压气泡法检漏 的。其工作原理如图1所示。 及真空氦质谱检漏。正压气泡法检 漏灵敏度较低 ，一般用于粗检、预 一 ■F ，——| 检；真空氦质谱检漏灵敏度高，可 — 一 、 _L一 用于最终的气密性检测，但在工件 ＼ } 发生泄漏后漏点定位 困难、复杂 。 溴冷机 由高压发生器 、发生冷凝 … 器、蒸发器、吸收器、热交换器等组成，各部件 图1 四极质谱计原理图 腔体相对独立，如使用多种示踪气体在对制冷机 1．2四极质谱计 (QMS)的主要性能参数 多个系统同时检测漏率、找出漏气点，将大大提 高生产效率 。