一软x线用不等间隔平面回折格子分光器-日本放射光学会.pdfVIP

480 放射光第10巻第5 号 (1997年) PF アンジュレータビームライン BL-2C の現状 一軟X 線用不等間隔平面回折格子分光器- 渡遺正満 フォトンファクトリー，物質構造科学研究所* CurrentStatusoftheSoftX雌ray UndulatorBeamlineBL-2C 一一一Varied SpacePlaneGratingMonochromator一 MasamitsuW A TANABE PhotonFactory, Institute01Mαterials StructureScience Anewgrazingincidencesoftx-raymonochromatorhasbeenconstructedonthe undlト latorbeamlineBL-2CofthePhotonFactory.Themonochromatorhasbeendesignedto meetthedemandsforhighωresolution softx-rayspectroscopy.Themonochromatorhas employedavariedspaceplanegratingandaconfigurationwithsagittalfocusingandconｭ vergingbeambyanextra鵬focusing mirrorinordertoachieverequirement.Accordingto analyticalestimationandraytracingsimulation , thehighresolvingpowerbeyond10000 canbeobtainedoverthefullenergyrangefrom250to1400eV.Preliminaryexperiments havebeendoneonthreepointsconcerningtheresolvingpower , photonflux , andspot size.Theresultshaveshowedthetypicalresolvingpowerfrom7500to10000, theabso偏 10 lutephotonfluxoftheorderof10photons/ s300 /mA/O.02%BW ,andthespotsizeof 2FWatthesampleposition. 0.1(V)x0.9(H)mm 1. はじめに 能が求められている。それに伴って光学素子研磨 や分光器設計に対する技術も上がり，多くの優れ 放射光を用いた発光(ラマン)分光実験や電子 分光実験等は，物質の電子基底状態や励起状態， た分光器が建設されている。球面白折格子を用い た Dragon 型分光器1) は，単純なエネルギー走査 振動モード，分子の解離や表面からの離脱など， 多くの研究に用いられてきている。特に軟X 線 機構と高い分解能によって広く採用されている ラマン分光や共鳴光電子分光実験では，ビームラ が，エネルギー走査と同時に移動させなければな イン分光器への高分解能化の要求が年々高まって らない出射スリット