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空调箱简介.ppt
水洗加濕設備 循環水泵 加濕噴嘴 紙風巢板 集水盤 補水 排水 各式加濕器加濕原理 蒸氣加濕 電熱式加濕器 使用電熱方式將純水加熱產生蒸氣加濕,當水槽水位降低時,以比例無段給水,對加濕精確度要求較高時,可用SCR來驅動電熱器增加穩定性。 電極式加濕器 使用電極藉水中離子導電產生熱,將水加熱為水蒸氣,再送至空調箱或風管,不適用在純水加濕,故不宜用在要求較高場所。 蒸氣加濕 使用蒸氣鍋爐產生蒸氣加濕,利用控制閥控制加濕量。 水霧加濕 二流體加濕器 使用高壓空氣將純水誘導霧化使水霧蒸發達到加濕效果。 水洗加濕 使用水洗設備,將水分子霧化並加長水分子與空氣接觸時間達到加濕效果。 加濕器選型要素 風量 以CMM、CMH表示 進風、出風之絕對濕度 依風量及絕對濕度差決定了加濕器之能力 加濕量 以kg/hr表示 分佈管材質 SUS 304 分佈管數量 需依加濕量適當分配 安裝注意事項 斜度、方向、及排水。 加濕距離 需計算有效加濕距離 氣狀污染物之移除 氣狀污染物移除之目的 因應未來製程需求 氣狀污染物之來源 外氣引入 建材釋放 製程產升 氣狀污染物移除方法 水洗 化學過濾網 氣狀污染物之處理效率 化學過濾網 化學過濾網型式 物理吸附式→活性碳過濾網 化學吸收→Purafil 化學過濾網更換時機 風壓降 使用時間 樣本檢驗 化學過濾網之配套設計 化學過濾網上游,必須避免過高之相對濕度 化學過濾網下游,必須設置粒狀污染物過濾網 外氣處理程序(水霧加濕) 夏天冷卻除濕 水霧加濕過程 外氣處理程序(蒸氣加濕) 蒸氣加濕過程 外氣空調箱計算 Summer 38℃DB、80%RH Winter 2℃DB、80%RH Room Condition 23℃DB、45%RH 排氣量+正壓量=120,000CMH 外氣空調箱計算實例 空調箱之介紹及應用 典型空調箱之元件介紹 預濾網 中級濾網 風車 冷卻盤管 檔水簾 加熱盤管 高效濾網 加濕器 逆止風門 空調箱之功能 處理標的 溫度控制 濕度控制 潔淨度控制 氣狀污染物控制 壓力控制 主要元件 冷熱管排 加濕器 濾網 水洗裝置、化學濾網 風車 初級濾網(Pre-filter) 主要用來濾除大氣中1um以上之粗塵粒 過濾效率約70~90% ASHRE Arreatance 用來延長中級過濾網之壽命 中級濾網(Medium filter) 主要用來濾除大氣中1um以下之塵粒 過濾效率約35~95% Dust Spot 用來延長最終過濾網之壽命 終級濾網(Final filter) 型式: HEPA 、ULPA 主要用來過濾0.5um粒徑以下之微粉塵 過濾效率在99.97% DOP 以上 為潔淨室過濾系統最終之過濾元件 空氣過濾之原理 阻擋(Straining) 針對較大粒徑之塵粒 慣性(Inertial Impaction) 針對較大粒徑之塵粒 擴散(Diffusion) 攔截(Interception) 重力沉降(Gravitational Settling) 靜電吸引(Electrostatic Attraction) 空氣過濾之效率 濾網效率之測試方法 重量法(Weight Method) 又稱體積法 適用對象:處理1um以上粗塵粒之預濾網 塵點法(Dust Spot Test Method) 又稱比色法或光度計法 適用對象:處理1um以下塵粒之中級濾網 Dop法(Di-Octy-Phthalate Method) 又稱數量法或顆粒法 適用對象:處理0.5um以下塵粒之最終濾網 重量法 用來測試過濾網之除塵效率 W η= × 100% Ws η:過濾效率 單位=%截塵率、或%ASHRAE Arrestance Ws:飼給粒子重量 W :捕捉粒子重量 塵點法、又稱比色法 分別抽取待測過濾網上游髒空氣與下游乾淨空氣進入比色裝置的濾紙中,再以光電元件偵測濾紙之透光率,並轉成微電流訊號,求得上游與下游微塵粒濃度,進而求得過濾網效率。 A η= ×100% As η:過濾效率 單位=%Dust Spot、或%ASHRAE Efficiency、或%NBS Ws:飼給粒子斷面積 W :捕捉粒子斷面積 顆粒法(DOP法) 將DOP霧化之氣交送入待測過濾網進風箱,並以光學微粒計分別計測上游與下游空氣之粒子數,進而求得過濾網效率。DOP目前已逐漸被LPS(Latex Ploy Strene)所取代。 N η= ×100% Ns η:過濾效率 單位=%DOP Ns:飼給粒子數量 N
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