MEMS固体化学推进器设计与建模研究-光学精密工程.PDFVIP

第 卷 第 期 光学 精密工程 １３ ２ 　 Ｖｏｌ．１３ Ｎｏ．２ 　 　 　　　　　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　　　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２００５ ４ Ａ ｒ．２００５ 　　 　　 ｐ 《微机电系统（ ）》专题文章导读 犕犈犕犛 吴一辉 中国科学院 长春光学机密机械与物理研究所 回顾近 年的科学发展史可以看出，发展最快、微小型化最成功的是电子器件。相比之下，非电子 ３０ 　　 器件小型化的速度要慢得多。早在 年物理学家 就提出了“ ’ １９５９ ＲｉｃｈａｒｄＦｅｎｍａｎ Ｔｈｅｒｅｓ ｌｅｎｔ ｏｆ ｙ ｐ ｙ ”的观点， 年 在 会议上发表了“ ｒｏｏｍａｔｔｈｅｂｏｔｔｏｍ． １９８２ ＰｅｔｅｒｓｅｎＫ．Ｅ． ＩＥＥＥ ＳｉｌｉｃｏｎａｓＭｅｃｈａｎｉｃａｌＭａ ”一文，随后便出现了微机电系统（ ， 或 ， ） ｔｅｒｉａｌ ｍｉｃｒｏｅｌｅｃｔｒｏｍｅｃｈｅｎｉｃａｌｓｓｔｅｍ ＭＥＭＳ Ｍｉｃｏｓｓｔｅｍ ＭＳＴ ｙ ｙ 的概念。ＭＥＭＳ技术不是单一的技术，它不仅包含了电子电路系统，还涉及到执行器、传感器、机械及 光学元件等，涉及众多的材料、基础理论、前沿技术和制造方法。由于运动部件的介入以及多学科交叉 的特点使其面对的问题较 技术复杂得多，它是一种综合性很强的系统技术。 ＩＣ ＭＥＭＳ技术的蓬勃发展主要是近十几年的事情。目前已在设计工具与设计方法、制造工艺与相关 设备、测试与封装技术、新材料开发等方面等获得了长足的进步。人们在不断探求尺度效应的基础上逐 步完善了ＭＥＭＳ的设计理论，并开发出专用的设计软件；感应耦合等离子深刻蚀等相关先进设备的出 现，使 ＭＥＭＳ的三维制作工艺技术获得突破性进展；聚合物软光刻及复制技术的发展使许多高性能廉 价材料得以成功应用，使器件和系统的成本大幅度降低并在微流体、生物芯片、各种便携式仪器等方面 发挥重要作用；多层结构键合以及不同材料器件的集成制作与封装技术的发展，使许多传统的大型系统 得以小型化并完成许多大型系统无法完成的功能，同时实现低成本、高效率的批量化制作等。以 ＭＥＭＳ技术为核心的产业正在向传统工业挑战，并初步成为带动传统产业走向数字时代的雄厚基石。 如果将 技术的发展称作是一次“硅革命”的话， 技术有如新一轮的“硅革命”的话，