基于有限元方法的光刻机工件台线管组件结构优化-清华大学学报.PDFVIP

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2017-12-19 发布于天津
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( ) / 清华大学学报自然科学版年第卷第期 ISSN１０００Ｇ００５４２０１７５７８３１９ / 　 ( ), , , CN１１Ｇ２２２３N 　JTsinhuaUniv SciTechnol ２０１７ Vol．５７ No．８７９８Ｇ８０２ g 基于有限元方法的光刻机工件台线管组件结构优化 , , , 成荣王希远朱煜杨开明　　　　　 ( , ) 清华大学机械工程系北京１０００８４ : , 摘要光刻机工件台是光刻机的关键子系统其中的线管　集成电路( )产业是推动社会信息化和经济 IC 、 . [] 组件是其传输信号动力及冷却液等必不可少的组成部分１发展的核心产业之一 ,光刻机是集成电路制造的线管组件产生的扰动力会恶化工件台系统的超精密运动性 , 最为关键装备超精密工件台系统是光刻机的核心 , 能因此抑制线管组件扰动力对提高工件台系统的运动性 [ ] ２３ . , 子系统之一目前由于直驱式动圈式电机推 . 能具有重要意义该文以工件台系统的子系统掩模台系统 , 重比高和无理论推力上限的优点高端光刻机普遍 , 、的线管组件为例以减小线管组件扰动力波动提高掩模台 . , , 采用这种驱动结构运动的通电线圈由于散热和动运动性能为目的建立了线管组件有限元模型对线管组件 , 的主要结构参数进行了优化提出了线管组件优化的一些 , . 力及信号传输的需要引入了线管组件在运动台 , . : 准则并进行了实验验证实验表明该有限元