MEMS陀螺仪技术简介-2017年11月.pdfVIP

每 月 特 辑 Feature MEMS陀螺仪技术简介 ◆ 意法半导体/Jay Esfandyari, Roberto De Nuccio, Gang Xu 多轴MEMS 陀螺仪结构大幅 件实现量产 价格低廉 尺寸紧 多数采用一种调音叉结构 这种 ， ， 。 缩小 单封装集成数字接口 占 凑 适合消费电子产品 结构由两个振动并不断地做反向 ， ， ， 。 板面积仅几平方毫米 低廉的价 1. MEMS陀螺仪工作原理 运动的物体组成 如图2所示 当 ， ， 。 格被大多数客户接受 这些优势 MEMS 陀螺仪利用科里奥效 施加角速率时 每个物体上的科 ， ， 促使MEMS 陀螺仪渗透到手持设 应测量运动物体的角速率 如图1 里奥效应产生相反方向的力 从 ， ， 备市场 所示 而引起电容变化 电容差值与角 。 。 。 M E M S 陀螺仪让便携设备 速率 成正比 如果是模拟陀螺 ， 能够增加很多令人惊喜的特色功 仪 电容差值转换成电压输出信 ， 能 其中包括提高相机性能的图 号 如果是数字陀螺仪 则转换 ， ； ， 像稳定功能；增加更多功能并提 成最低有效位。 高易用性的用户界面 令人兴奋 如果在两个物体上施加线性 ； 的游戏娱乐功能 MEMS 陀螺仪 加速度，这两个物体则向同一方 。 还将用于需要高灵敏度 低噪 向运动 因此 不会检测到电容 、 。 ， 声 低漂移 因长时间使用而发 变化。陀螺仪将输出零速率输出 、 （ 生的测量偏差或受到环境温度影 图1:科里奥效应 值或最低有效位，表示MEMS 陀 响而产生的偏差 的航位推测和 根据科里奥效应 当一个物