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2017-10-30 发布于上海
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MEMS 教程 lecture11

Optical MEMS Overview Introduction to MEMS lecture #11 Mark Bachman, UCI, Fall 2004 1 Optical MEMS MEMS technology applied to optical systems Imaging systems Biomedical optics Fiber optics systems MEMS and micro-optical systems Opto-mechanical devices Opto-electronic devices Integrated-optical devices Advantages Size reduction Mechanical integration: mechanics and optics Electrical integration: electronics and optics 2 Optical MEMS Most optics is concerned with Generation, Modulation, Transmission, and Detection of light Optical miniaturization Batch fabrication Low cost High integration High stability 3 Optical MEMS Elements of optical MEMS Lens Focusing Post Mechanical support Mirror Reflection Grating Diffraction Beam splitter Combiner/divider Waveguide Beam guide Modulator Modulation 4 Optical MEMS Heterogeneous integration techniques 5 Optical MEMS application areas Imaging systems Display systems, photography systems 6 Optical MEMS application areas Diffractive optics and optical arrays Scanners, microscopes, lighting, telescopes, sensors 7 Optical MEMS application areas Diffractive optics and optical arrays Example bar code scanning device