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第42卷第6期 东南大学学报(自然科学版) V01．42NO．6 2012年11月 JOURNALOFSOUTHEAST Science Nov．2012 UNIVERSITY(NaturalEdition) doi：10．3969／j．issn．1001—0505．2012．06．018 基于EIT技术的气流传感器及其实验研究 蒋明霞 李伟华 张 良 葛宇昊 (东南大学MEMS教育部重点实验室，南京210096) 摘要：提出了一种新型的、基于电阻抗断层成像技术进行气流传感的微机电(MEMS)传感器结 构，其基本构造为覆盖在加热器件之上的半导体硅薄膜以及位于硅薄膜四周的16个金属电极． 首先，在金属电极对中注入电流，并根据相邻测试规则测量其他电极对间的电压；然后，改变电流 注入位置并测量电压，得到208个电压值；最后，利用成像软件将电流和电压参量转换为电阻率 分布图像．气流流动所导致的热场分布变化将引起薄膜电阻率的分布发生变化．气流传感实验结 果表明，气流方向、速度的变化能够采用图像的方式清晰、直观地进行描述．研究结果为MEMS 传感器设计提供了新的方案与技术． 关键词：电阻抗断层成像；微机电气流传感器；电阻率分布图像 中图分类号：TN407文献标志码：A 文章编号：1001—0505(2012)06—1117-05 Gaseoussensor flow basedonEITandits experimentalstudy LiWeihua GeYuhao JiangMingxia ZhangLiang ofMEMSof of Laboratory (Key MinistryEducation，SoutheastUniversity，Nanjing210096，China) novelstructureof Abstract：A micro．electro—mechanicalflowsensorbasedonelectricalim— gaseous flow pedancetomography(EIT)is sensorconsistsofasiliconfilmoverthe developed．Thegaseous heaterand16metalelectrodes the is excitaftoncurrent a surroundingfilm．First，the injectedthrough electrodeand aremeasuredbetweenother sitesoftheelec— couple voltages electrodes．Then。the trodesofcurrentare andthe aremeasured valuesareobtained． changed voltages again．208voltage valuesofthecurrentsand are仃ansformedt
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