有哪些信誉好的足球投注网站- 1、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
第 43 卷 第 5 期 天 津 大 学 学 报 Vol.43 No.5
2010 年 5 月 Journal of Tianjin University May 2010
▋
基于聚焦离子束铣削技术的微刀具制备
张少婧，徐宗伟，房丰洲，胡小唐
(天津大学精密测量技术与仪器国家重点实验室，天津市微纳制造技术工程中心，天津 300072)
摘 要 ：提出了一种利用聚焦离子束 (FIB)技术的铣削功能制备微细切削刀具的方法，通过设置恰当的离子束参数及
精确控制刀具的不同刀面相对离子束的位置，可以获得具有高精度特征尺寸、锋锐刃口且复杂形状的微刀具. 被加工刀
具的典型特征尺寸为 5 50,µm ，可加工各种不同截面形状的微刀具. 对硬质合金材料的毛坯进行 FIB 铣削，获得了宽
度为 7.65,µm、刃口半径小于 30,nm 的矩形微刀具. 通过在超精密车床上进行加工试验 ，结果表明，FIB 铣削的微刀具具
有很好的加工性能.
关键词 ：聚焦离子束；微刀具；微加工；超精密加工
中图分类号：TN305.92 ；TH161.1 文献标志码 ：A 文章编号 ：0493-2137 (2010)05-0469-04
Fabrication of Micro Tool Using Focused Ion Beam Milling Technique
ZHANG Shao-jing ，XU Zong-wei ，FANG Feng-zhou ，HU Xiao-tang
(State Key Laboratory of Precision Measuring Technology Instruments ，
Centre of MicroNano Manufacturing Technology ，Tianjin University ，Tianjin 300072 ，China)
A method for fabricating micro cutting tools using focused ion beam (FIB)milling technique has been pro-
Abstract ：
posed. Micro tools with high precision feature sizes ，sharp cutting edges and complicated shapes can be achieved by
setting proper ion beam parameters and controlling the precise position of tool facets relative to focused ion beam. The
fabricated micro tools have typical feature sizes ranging from 5 ～50,µm and various cross-sectional shapes. A micro
tool with rectangular cross-section ，width of 7.65 μm and curvature radius of cutting edge less than 30 nm has been
obtained with FIB milling of a hard alloy tool blank. The results of ultra-precision machining experiments show that
文档评论（0）