关于表面微机械技术的压阻式加速度传感器.pdfVIP

2011年 缇表技术与传感器 2011 lnslnlmenl andsensor N仉ll 第11期 Technique 基于表面微机械技术的压阻式加速度传感器 巍长征‘2，周伟1，李昕欣1 (1．中国科学院上海微系统与信息技术研究所传感技术国家重点实验室，上海2呻050；2中国科学院研究生院，北京IO0049) 摘要：文中介绍了一种以表面微机械技术制造的带有片上静电自检测功能的压阻式加速度传感器。_瞌芯片帝j造利用 了表面微机械加工技术，以低应力氮化硅薄膜为姑构材料，多晶硅作为压阻材料，引入了准uGA的电镀铜工艺，实现了一 款低成本、与Ic制造工艺相兼容的压阻式加速度侍感嚣。电镀的铜质量块使压阻输出获得了足够高的曼敏度。利用金 属质量块和村底形成的一对电极．实现了可片上检测器件是否正常工作的片上静电自检测功能。传感嚣洲试结果表明． kHz． 加速度输出灵敏度为25l斗V／g，一3dB频率带宽为1．3 关键词：压阻式加速度传感嚣；表面微机械技术；片上静电自检测功能 1 中国分类号：TP212 文献标识码：A 文章编号：1002—184I(2011)ll—oo【)4—04 Su刊fhce．IIlicn，InachinedPiezoI蝌s6veA删enlti帅sensorwith5klf_testF弧ti衄 wEI xiⅡ-】【inl wei。，u cha“g—zhen一”，zHou 0f (1．sbteKqL日b哪toryThIlsducer豫hnolo舒，ShaⅡgllniIm廿tuteofMic咖yst哪蛐dhm咖n呻1k岫lo盯， chin鼯e AcademyofScklIo皓，sh锄l曲ai捌哪唧，Chi硼； 0f 0f 2．Gr们uateSch∞lalin雠A∞demysd蚰e蜉，Be¨ing100咐9，alinB) in扛Dduced Abs州：Thjs asu出ce—micromacllinedaceeleration electr懈t氆licsemtest paper piezoresistive sensor．withon·chip sensorisfab五c砒edina1．6rTlrIl×l6mm siNlofo玎nIhe8tnIc— “nction．The slf幅s singlechipforlow-c08‘product；on，usi“glow tIl弛and tof0册th8 cu was and onthe mas8 acceIerometer polysilicon piezore8istors．At