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2017-10-26 发布于湖北
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关于MEMS技术的微波滤波器研究进展.pdf

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MEMS器件与技术 MEMS Device＆Technology 基于MEMS技术的微波滤波器研究进展欧阳炜霞，张永华，王超，郭兴龙，赖宗声 (华东师范大学微电子电路与系统研究所，上海200241) 摘要：基于MEMS技术的滤波器是现行RF结构中一个关键的MEMS器件。与传统的采用金属矩形或圆柱波导以及半导体元件制作的滤波器相比，MEMS滤波器具有低损耗、高隔离度、线性好、体积小、易于集成等优点。对利用MEMS技术制作的滤波器做了分类总结，综述了近几年 MEMS滤波器的研究进展，包括硅体微加工滤波器、LIGA传输线型滤波器和基于MEMS开关／电容实现的可调滤波器。指出可调滤波器的开发适应微波、毫米波波段的多频段、宽带无线通信系统的迫切需要，具有重要的现实意义。关键词：MEMS技术；硅体微加工；LIGA技术；微波滤波器；可调滤波器 ReviewonMEMSMicrowaveFilters OuyangWeixia，ZhangYonghua，WangChao，GuoXinglong，LaiZongsheng (Institute ChinaNormal ofMicroelectronicsCircuitSystem,EastUnivers咖肌喇200241，China) basedonMEMS are devicesincurrentRF Abstract：Filters technologyimportant systems．Compared withtraditionalmicrowavefilters metallic orsemiconductor utilizing rectangular／circularwaveguides filtershave low components，MEMSadvantagesincludingloss，highisolation，excellentlinearity，small basedonMEMS areclassifiedandsummarized．The integration；etc．Filters size，easy technology research ofMEMSfiltersoverthe several are siliconbulk 厂 progresses past yearspresented，including transmissionlinesand tunablefilters．The micromachining，LIGA MEMS—switches／capacitors—based oftunablefiltershave interest modem more as meetthe demandof developments they urgent microwave／millimeter-wavecommunication ． multiband，wide—bandsystems． Keywords：microelectromechanical bulk system(MEMs)technology；sili