氢化非晶硅薄膜的热导率研究！.PDFVIP

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2017-10-29 发布于上海
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氢化非晶硅薄膜的热导率研究！

第卷第期年月物理学报 ) (%%@ ，，， 1XB 8) AX 8 P3N (%%@ （） $%%%4*(+%U(%%@U) % U*$(#4%# V0:V .7W5;0V 5;A;0V (%%@ 0Y6, 8 .YNH 8 5XJ 8 氢化非晶硅薄膜的热导率研究! ! 李世彬吴志明袁凯廖乃镘李伟蒋亚东（电子科技大学光电信息学院电子薄膜与集成器件国家重点实验室，成都 #$%%’ ）（年月日收到；年月日收到修改稿） (%%) # *% (%%) + $’ 采用铂电极为加热电阻，研究了厚度为 — 等离子体化学气相沉积（）工艺制备的氢化非晶硅 *%% *)% ,- ./012 （：）薄膜的热导率随衬底温度的变化规律用光谱式椭偏仪拟合测量薄膜的厚度，得到了沉积速率随衬底温度 3456 7 8 变化规律，傅里叶红外（）表征了在晶片衬底上制备的：薄膜的红外光谱特性，原子团键合模的震 9:; =? 3456 7 567 动对热量的吸收降低了薄膜热导率从动力学角度分析了薄膜热导率随平均温度升高而增大的原因，并比较了声 8 子传播和自由电子移动在：薄膜热导率变化上的作用差异 3456 7 8 关键词：非晶硅，热导率，薄膜，热能：， !## #@ )’*%/ ［］［］［］ $% $$ $( 量热法，热脉冲技术及瞬时热反射法 8 这些 $O 引言方法都需要特殊的设备而且只适用于厚度超过$ - ! 的金属薄膜本文提出一种测量工艺制备的 8 ./012 氢化非晶硅（：）近年来广泛应用在太阳能