洁净工程及相关.pptx

; 唯一的不变就是永远在变 唯一确定的就是还没确定 ;整厂系统 TFT生产工艺 洁净功能实现 工艺实现支撑系统 洁净室检测;1. 整厂系统;1 整厂系统;2. TFT生产工艺;G4.5 0.73*0.92m;;1.母材为玻璃基板 2.目的:蚀刻制程成导电玻璃(薄膜晶体管);1.正离子溅镀-属PVD制程 2.一般适用于金属薄膜;1.即对准曝光 2.将MASK影像通过Lens准确在PR上曝光;1.干式蚀刻制程-适用于非金属薄膜 2.特殊需求:Specialty Gas 3.蚀刻具方向性/仅侵蚀与PR切齐;1.将完成Array制程之TFT清洁 2.同时将CF基板清洁;1.在CF基板边框涂上一层黏合框胶 2.目的在黏合TFT及CF基板;1.对位完成后形成TFT+CF基板 2.须依CF配置情况进行切割;1.装置驱动IC 2.同时连接印刷电路;3. 洁净功能实现;等级;过滤循环空气建立无尘环境;;3.3 电子厂房1/2回风——下回风;;MAU（Make-up Air Unit）新风机组（外气调节箱）。 　　MAU是提供新鲜空气的一种空气调节设备。功能上按使用环境的要求可以达到恒温恒湿或者单纯提供新鲜空气。工作原理是在室外抽取新鲜的空气经过除尘、除湿（或加湿）、降温（或升温）等处理后通过风机送到室内，在进入室内空间时替换室内原有的空气。当然以上所提到的功能得根据使用环境的需求来定，功能越齐全造价越高。 主要用于：电子厂房1/2;FFU为英文缩写，全称为 Fan Filter Units, 中文意思为风机滤器单元（机组）。 也就是将风机和过滤器（高效过滤器（HEPA）或超高效过滤器（ULPA））组合在一起构成自身提供动力的末端净化设备。确切地说是一种自带动力、具有过滤功效的模块化的末端送风装置。风机从FFU顶部将空气吸入并经HEPA过滤，过滤后的洁净空气在整个出风面以0.45m/s±20%的风速均匀送出。 主要用于：电子厂房1/2;AHU是空气处理机组（Air handling unit）的英文缩写 　　用于调节室内空气温湿度和洁净度的设备。有满足热湿处理要求用的空气加热器、空气冷却器、空气加湿器，净化空气用的空气过滤器，调节新风、回风用的混风箱以及降低通风机噪声用的消声器。空气处理机组均设有通风机。根据全年空气调节的要求，机组可配置与冷热源相连接的自动调节系统。可由工厂制成系列的定型产品，组???各种容量和功能的处理段，由设计人员选配，并在现场进行装配。 主要用于：更衣室、电子厂房3;4. 工艺实现支撑系统;4.1 全厂支撑系统;PCW 制程冷却水;CDA 压缩干燥空气;Chemical 化学药品;PV 制程真空;Exhaust 排气系统;5. 洁净室检测;6.洁净室检测;谢谢！