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IRB-30和IRB-50图像
IRB-30和IRB-50成像质量对比 Semilab, 6 April 2011 6 April 2011 www.semilab.hu Introduction IRB-50是IRB-30的升级产品，采用高分辨率的线性扫描相机替代IRB-30的面相机，在细节的判断上有很大的提高 IRB-50相机像素1024pix,最小像素点25um，采集频率50Mpic/s, 是探伤设备中最先进的相机 IRB-30相机像素768pix *576pix 因此IRB-50能更清晰的辨认出杂质，区分杂质和表面影响 IRB-50 IRB-30 相机分辨率 1024x1 768x576 测试图片大小 1024x4182 640x480 6 April 2011 www.semilab.hu 未抛光硅锭 IRB-50测试结果 IRB-30测试结果 从上面的图形对比可以看到IRB-50的图像质量要明显强于IRB-30，上部的杂质对比度更加明显，杂质轮廓更加清晰，硅锭的晶界也很清晰， 下面部分的崩边在IRB-50中清晰可见，在IRB-30中则模糊不清。 6 April 2011 www.semilab.hu IRB-50测试结果 IRB-30测试结果 另外IRB-50没有IRB-30由于镜头导致的变形。 未抛光硅锭 6 April 2011 www.semilab.hu 这两幅图为未经处理的原图大小， 截取部分，上图为IRB-50所测， 下图为IRB-30测得，上图红框中 硬质点清晰可见，但是IRB-30的 图像中就难以辨认 未抛光硅锭 6 April 2011 www.semilab.hu 未抛光硅锭 这两幅图为未经处理的原图大小， 截取部分，上图为IRB-50所测， 下图为IRB-30测得，上图红框中 硬质点清晰可见，但是IRB-30的 图像中就难以辨认 6 April 2011 www.semilab.hu 抛光硅锭 这两幅图为未经处理的 原图大小，截取部分， 左图为IRB-50所测， 上图为IRB-30测得， 左图红框中硬质点 清晰可见 但是IRB-30的 图像中就难以辨认 6 April 2011 www.semilab.hu 抛光硅锭 这两幅图为未经处理的原图大小， 截取部分，上图为IRB-50所测， 下图为IRB-30测得，上图红框中 裂纹清晰可见，但是IRB-30的 图像中就难以辨认 6 April 2011 www.semilab.hu 抛光硅锭 左图为IRB-50所测， 右图为IRB-30测得， IRB-50图像亮度均匀，400mm以下任意高度的硅锭都可完美测试， IRB-30图像亮度不均，比较短的硅锭只能遮盖光源进行测试。 6 April 2011 www.semilab.hu 结论 从成像质量上进行对比IRB-50完胜IRB-30 IRB-50分辨率高，能更准确的识别出杂质，尤其是硬质点等微小杂质 IRB-50成像亮度均匀 IRB-50可以测量任意长度的硅锭（量程400mm） IRB-50的几乎不存在镜头畸变 IRB-50另有优点 同屏观察4面，进行杂质标定，省时省力 马达转速提高，测试速度加快 * * * * * * * * * * * * * * * * * * * *
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