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基于统计分析方法的同步移相干涉图位置配准
第 卷 第 期 光 学 学 报 , 34 6 Vol.34 No.6 年 月 , 2014 6 犃犆犜犃犗犘犜犐犆犃犛犐犖犐犆犃 犑狌狀犲 2014 基于统计分析方法的同步移相干涉图位置配准 田 枫 白福忠 吴亚琴 徐永祥 梅秀庄 (内蒙古工业大学机械学院,内蒙古 呼和浩特 010051) 摘要 使用同步移相干涉仪重建波前相位时,需要对移相干涉图进行准确的位置配准和目标区域确定以保证重建 精度和相位解缠绕算法的成功实施。提出一种基于统计分析方法的圆形域同步移相干涉图位置配准技术,对一组 包含不同相位分布的干涉图按照对应像素位置进行方差分布函数计算;利用最大组间方差法完成阈值分割,从而 分离出干涉图像的背景与目标区域,通过梯度运算检测出目标区域的轮廓;利用改进 Houh变换算法估计出各个 g 轮廓的绝对位置和半径参数。数值仿真结果表明,当轮廓半径大于 64 ixel时,该方法的配准精度可以达到 p 。通过建立自参考同步移相干涉仪对该方法的可靠性与实用性进行实验验证。 0.5 ixel p 关键词 物理光学;同步移相干涉仪;圆形域干涉图;位置配准;统计分析方法 中图分类号 文献标识码 : / O436 A 犱狅犻10.3788犃犗犛201434.0626001 犘狅狊犻狋犻狅狀犚犲犻狊狋狉犪狋犻狅狀犳狅狉犛犻犿狌犾狋犪狀犲狅狌狊犘犺犪狊犲犛犺犻犳狋犻狀 犐狀狋犲狉犳犲狉狅狉犪犿狊 犵 犵 犵 犅犪狊犲犱狅狀犛狋犪狋犻狊狋犻犮犪犾犃狀犪犾狊犻狊犕犲狋犺狅犱 狔 犜犻犪狀犉犲狀 犅犪犻犉狌狕犺狅狀 犠狌犢犪犻狀 犡狌犢狅狀狓犻犪狀 犕犲犻犡犻狌狕犺狌犪狀 犵 犵 狇 犵 犵 犵 ( , , 犆狅犾犾犲犲狅犕犲犮犺犪狀犻犮犪犾犲狀犻狀犲犲狉犻狀 犐狀狀犲狉犕狅狀狅犾犻犪犝狀犻狏犲狉狊犻狋 狅犜犲犮犺狀狅犾狅 犵 犳 犵 犵 犵 狔 犳 犵狔 , , ) 犎狌犺犺狅狋 犐狀狀犲狉犕狅狀狅犾犻犪010051 犆犺犻狀犪 犵
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