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半导体制程流程图
* 晶柱生長 * 矽的製造過程 冶金級矽 (MG-Si) 多晶矽原料 (Poly-Si) 矽 (Quartz) 單晶矽 (sc-Si) 多晶矽 (mc-Si) 西門子製程 乙西爾製程 CZ FZ Casting Ribbon .tw/upload/81201/41/news/postfile_31290.ppt 磊晶製程-拉晶、晶柱生長 * 合晶科技/chinese/04_quality/11assurance.php?CID=4ID=7 * 加熱 (1100 ° C) SiHCl 3 + H 2 ? Si + 3HCl 三氯矽烷 氫氣 電子級矽材料 氯化氫 多晶態沉積, 電子級矽材料 Single crystals 單晶 * .tw/upload/52/37/files/dept_37_lv_3_7387.pdf * Wafer manufacturing/.tw/eeworker/pro2/doc/05Wafermanufacturing.pdf * 晶體提拉:查克洛斯基(CZ)法 石墨坩堝 單晶矽矽棒 單晶矽種晶 石英坩堝 加熱線圈 1415 °C 融熔的矽 .tw/eclass/SemiDevice/SMT_C/中文Xiaoch04.ppt * 查克洛斯基法晶體提拉 資料來源: /semiconductors/_crystalgrowing.html .tw/eclass/SemiDevice/SMT_C/中文Xiaoch04.ppt * 西門子式反應爐及多晶矽外觀 除了此述塊狀矽多晶製程外,最著名的尚有以矽烷(Monosilane)於流床反應爐中分解析出顆粒狀(Granular)之多晶矽 (薛銀陞/矽晶圓材料製造技術)(1/micro/chap3/) *
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