电化学沉积高c轴取向ZnO薄膜及其光学性能分析!-物理学报.PDF

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 2# $ %$$( $ ， ， ， FV9 /2# UV / $ ,DBVWCX %$$( （ ） $$$5)%’$P%$$(P2# $ P2’(’5$( QR+Q NSTH*RQ H*U*RQ %$$( R=8. / N=;Y / HVD / 电化学沉积高 轴取向 薄膜 ! !# 及其光学性能分析! 谷建峰 付伟佳 刘 明 刘志文 马春雨 张庆瑜! （大连理工大学三束材料改性国家重点实验室，大连 #$% ） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） %$$# ’ %$$( ) % 采用阴极还原方法，在透明导电玻璃（ ）上制备了高 轴择优取向的 薄膜 通过 射线衍射、扫描电子 *+, ! -., / 0 显微镜等表征技术，研究了沉积电流对-., 薄膜的结构、应力状态及表面形貌的影响；利用光致荧光光谱及透射光 谱等分析方法，探讨了沉积电流变化对 薄膜的光学性能的影响 研究结果显示：各沉积电流下均可制得高 轴 -., / ! 取向的-., 薄膜；薄膜表面形貌受电流的影响较大；从透射谱可以看出，薄膜在可见光波段有较高透射率，且薄膜 厚度随沉积电流的增大而增大 光致荧光测量表明，电化学沉积的 薄膜具有明显的带隙展宽 而且，随着沉积 / -., / 电流的增加，带隙发光强度逐渐减弱，缺陷发光逐渐增强/ 关键词： 薄膜，电沉积，表面形貌，光学性能 -., ： ， ， ， $% #122 1%1$3 (%1$4 (122 于电化学反应过程在生长条件控制、工艺稳定性控 E 引 言 制以及在线分析等方面存在一定的困难，使得电化 学沉积 薄膜的生长机理尚不是十分清楚 此 -., / -., 具有良好的光电、压电和气敏特性，在发光 外，相对物理气相沉积和化学气相沉积而言，电化学 二极管、光探测器、表面声波器件、透明导电薄膜、太 沉积的-., 薄膜质量较差，改善电化学沉积薄膜的 阳能电池窗口及气敏传感器等诸多领域有着广泛的 光学特性是目前该领域的一个研究热点/ ［— ］ 应用 / -., 作为一种新型半导体材料，其带隙宽 在表面镀有（ ， ） （ ）薄膜的玻璃基片兼