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单晶炉故障维修-----有问必答！ 开个贴！单晶炉故障，有问必答！希望各位多多支持！问题大家讨论！;大兵 ;大兵 ;大兵 ;大兵 Dante 2009-7-18 21:37 支持楼主！ shenmou467 2009-7-19 14:28 对于经运通的路子晶转和过转最多是8比5，转数上不去怎么解决？经帮晃动和页面抖动怎么解决？（汉宏直线导轨 2009-7-19 18:31 [quote]原帖由 shenmou467 于 2009-7-19 14:28 发表 对于经运通的路子晶转和过转最多是8比5，转数上不去怎么解决？经帮晃动和页面抖动怎么解决？（汉宏85炉子）。谢谢 [/quote] 第一个问题再说的清楚点。晶棒晃动：这种现象俗称 棒摆 棒摆会发生在整个拉晶的各个阶段：引晶/生长/收尾棒摆的原因有很多，不是单单一个方面引起的。曾经美国****公司花巨资专门研究这个为题。也没有得出明确结论。但主要方面有以下几点。:1.软轴（钢丝绳）2.提拉头，减速机构/旋转机构。3.热场。4.氩气（流量/气流在炉内的流动）5.炉子机构6.热场设计/分布7.真空系统（泵/管道）8.冷却系统（水流/水温）9.硅料（如拉电子级棒，不同型号的棒子。10.重锤（形状/重量/精度液面抖动原因：1.下轴机械部分：有死点/杂物/欠缺润滑/轴弯了。2.下轴传动部分，减速器故障。如蜗轮断齿。3.下轴和炉体之间有杂物。（已发生在漏硅后,没有清理干净）4.检查电机驱动部分。伺服电机不会出现这种现象。直流电机经常发生。 btsunny 2009-7-19 19:41 学习;握手 直线导轨 2009-7-19 20:22 谢谢[捧场！ tzlijf 2009-7-19 21:50 华盛天龙的85炉，现在有四只炉拉出的晶棒上有白斑,不知是何原因，[attach]64525[/attach][attach]64526[/attach] btsunny 2009-7-19 22:10 是不是刚刚清完炉啊? tzlijf 2009-7-19 22:22 不是的，连续有二炉都这样， 直线导轨 2009-7-20 11:09 [size=7]检查提拉头。[/size][size=7]钢丝绳卷筒或轴承润滑油滴落！[/size];大兵 ;大兵 ;大兵 ;大兵 SAD1375733 2009-7-20 12:28 晶体直径控制不好，头部拉速波动很大！是PID的问题？PID怎么调整？ 人口吧 2009-7-20 15:50 有台汉虹炉子连续５炉到了６００－８００之间的长度时（其中一炉是４９０），直径突然变大，前面等径时温度、拉速和直径控制都很稳定。炉子的各方面参数都和其它炉子一样，检查了提拉头的籽晶绳和连轴器都没问题请问各位，这是什么原因造成的？ 直线导轨 2009-7-20 18:14 [quote]原帖由 SAD1375733 于 2009-7-20 12:28 发表 晶体直径控制不好，头部拉速波动很大！是PID的问题？PID怎么调整？ [/quote] 看是什莫炉子了。国产炉：PID调整厂家会给你 参数的。 直线导轨 2009-7-20 18:18 [quote]原帖由 人口吧 于 2009-7-20 15:50 发表 有台汉虹炉子连续５炉到了６００－８００之间的长度时（其中一炉是４９０），直径突然变大，前面等径时温度、拉速和直径控制都很稳定。炉子的各方面参数都和其它炉子一样，检查了提拉头的籽晶绳和连轴器都没问题请问各位，这是什么原因造成的？ ... [/quote] [size=5]检查一下提拉头皮带张紧力如何。负载太大张紧力不够会造成提拉速度减慢，直径变大。[/size][size=5]另外，检查电机是否有发热现象。电机抗负载能力故障也会造成。[/size][size=5]检查一下再说吧！[/size] wangyc8207 2009-7-21 09:33 搞不懂，顶！人才 SAD1375733 2009-7-21 14:31 创联CL90和理工大80的PID是多少？ 直线导轨 2009-7-21 15:03 [quote]原帖由 SAD1375733 于 2009-7-21 14:31 发表 创联CL90和理工大80的PID是多少？ [/quote]不好意思这是人家的内部参数。我也不太清楚。如果你们购买的是他们的炉子，你可以向他要呀！或者让他们派技术人员来帮你没解决。我不是生产炉子的。谢谢！~恒新自控/创联科技总经理：丁积军??电话你可以联系她！ ygshebeigongsi 2009-7-21 15:41 我帮你顶一下;强 [quote]原帖由 XUCK 于 2