上理第四讲 非晶硅薄膜太阳能电池制造.ppt [兼容模式].pdf

太阳能电池工艺 第四节：非晶硅薄膜太阳能电池制造 寇志起 2012-10-24 太阳能电池分类汇总 30% 60% 5% 5% 太阳能电池分类汇总 主要内容 一、硅基薄膜太阳电池的发展历史及应用 二二、、硅基薄膜太阳电池的特点硅基薄膜太阳电池的特点 三、硅基薄膜太阳电池的结构及原理 四、硅基薄膜太阳电池的制造流程 一、硅基薄膜太阳电池的发展历史及应用 二二、、硅基薄膜太阳电池的特点硅基薄膜太阳电池的特点 三、硅基薄膜太阳电池的结构及原理 四、硅基薄膜太阳电池的制造流程 1、非晶硅太阳能电池的发展历史 1974 Spear等在非晶氢硅中实现可控掺杂。 1976年美国RCA实验的Carlson制成了世界上第一个非晶硅太阳电池效率2.4% CaCarlsrlsonon将非将非晶晶硅太硅太阳阳能电能电池池的转的转换换效率效率提提高到高到5.5.5%5%。。 1978年集成型非晶硅太阳能电池在日本问世。 1980 ECD公司作成了转换效率达6.3%的非晶硅太阳能电池，采用的是金属- 绝缘体-半导体（MIS）结构；同年，日本三洋公司向市场推出了装有面积为5 平方厘米非晶硅太阳能电池的袖珍计算器。 1981年：开始了非晶硅及其合金组成的叠 太阳能电池的研究。 1982年：市场上开始出现装有非晶硅太阳能电池的手表，充电器、收音机等 1984年：开始有作为独立电源用的非晶硅太阳能电池组合板。 1987年掺C, 掺Ge,光陷阱工艺非晶硅电池转化效率达12%(Initial)；面积从0.1M2 22 发展发展到到00..3M3M , M, Moodudullee 功功率率14W(14W( ssttaabbllee EEffff ~~55%)%) 1988 与建筑材料相结合的非晶硅太阳能电池投入应用 Today： 实验室: Triple 电池~ 15.3%； 产业化: 非晶硅/微晶硅叠 电池 G5 (1.1*1.3M2) ~ 9.6% 2 G8.5(2.2*2.6M ) ~8.5% 硅基薄膜太阳电池的技术发展 EPV, EPV EPV Oerlikon ? Oerlikon, 泉州金太阳 AMAT AMAT Unit-solar Kanaka Sharp .. 2、非晶硅薄膜太阳能电池的应用 2-1、室内消费电子产品 （非晶硅电池弱光性能好） o 由于非晶硅太阳能电池在室内弱光下也能发电，已被广泛用于 阳能钟， 阳能手表，太阳能显示牌等不直接受光照等场合下。 非 晶 硅硅