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chapter 1 薄膜制备的真空技术基础
膜材料与表膜材料与表界面界面
主讲老师：谢娟
Tel
Email：jennyx99@163.com
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College of Materials Science and Engineering, SWPU jennyx99@163.co
Email: jennyx99@163.com ; Tel
Public Email: clwlxnswpu@163.com 2012clwlxn
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课程基本情况
课程类别：专业课
课程学时：总学时课程学时：总学时4040
学 分： 2.5
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教材及参考书
教材： 《薄膜材料制备原理、技术及应用》第二版
唐伟忠，冶金工业出版社
《材料表界面》第二版，
胡福增 陈国荣 杜永娟，华东理工大学出版社
参考书 《薄膜物理与技术》杨邦朝 王文生，
电子科技大学出版社
《半导体薄膜技术与物理》叶志镇 浙江大学出版社
《膜化学与技术教程》徐铜文
中国科学技术大学出版社
《表面、界面和胶体》德鲁.迈尔斯著, 吴大诚 朱谱
新 罗新等译 化学工业出版社
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考核方式
平时成绩占30%：
主要包括作业
出勤率出勤率
课堂纪律及回答问题
期末考试 （闭卷）成绩占70%
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本课程主要授课内容
• 第一章 薄膜制备的真空技术基础
• 第二章 薄膜的物理气相沉积—蒸发法
• 第三章 薄膜的物理气相沉积—溅射法
• 第四章 薄膜的物理气相沉积—离子镀法及其他PVD方法
• 第五章 薄膜化学气相沉积
• 第六章 薄膜的生长过程和薄膜结构
• 第七章 薄膜材料的表征方法
• 第八章
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