Ch4-溶液镀膜-许向东.pdf

光电薄膜材料与技术 授课教师： 许向东 电子科技大学光电信息学院 加热；二极、射频、电感、微波、电子回旋共振 第四章 溶液镀膜法 本章课程内容： ● 化学镀 ● 电镀法 ● 阳极氧化 ● Sol-Gel ● LB膜 LB膜 ● 自组装膜 §4-1 化学镀 电解法：不从外部供电，利用氧化－还原反应 或置换反应，使金属盐水溶液中的金 属离子在基板表面析出的方法。 如置换反应：Fe片插入Cu2+ 中 价值不大，更多是氧化－还原反应，即化学镀。 镀金 古代溶液镀银 还原剂： 无极物：次磷酸盐、肼、亚硝酸盐； 有机物：甲醛、抗坏血酸、葡萄糖； 表面催化 Mn+ + ne- （来自还原剂） M0 Fe、Ni 、Co Cu、Cr - 2- + H PO + H O HPO + H + 2H 2 2 2 3 Ni2+ + 2H Ni + 2H+ - - H PO + H H O + OH + P 2 2 2 2+ - 2- + 总反应：Ni + H PO + H O HPO + 3H + Ni 2 2 2 3 §4-2 电镀法 电镀定义： 电镀是在含有被镀金属离子的水溶液(包括非水溶液、 熔盐等) 中通直流电流、使正离子在阴极表面放电，得 到金属薄膜。 阴极：工件 阳极：被镀金属，提高阳极电位，使阳极溶解 特点：膜层细致紧密、平整、光滑、无针孔等优点 Cu、Ti、Ni 、Au…. §4-3 阳极氧化法 定义： 铝、钛、铌等阀金属或合金，在适当 的电解液中作阳极并加上一定直流电压 时，由于电化学反应会在阳极金属表面上 形成氧化物薄膜，这个过程称为阳极氧 化，其制膜方法称为阳极氧化法。 保护、装饰 膜成长时可认为有如下反应 金属M 的氧化方法： + M + nH O MO + 2nH + 2ne