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子能谱及其应用》 Electron Spectroscopy and Applications 麻茂生 中国科学技术大学理化科学实验中心 合肥微尺度物质科学国家实验室(筹) 参考文献 l John F. Watts John Wolstenholme, An introduction to surface analysis by XPS and AES”, John Wiley Sons, 2003 l David Briggs and John T. Grant, Surface Analysis by Auger and X- Ray Photoelectron Spectroscopy”, IM Publications, 2007 l D. Briggs M. P. Seah, Practical Surface Analysis (Second Edition), Volume 1: Auger and X-ray Photoelectron Spectroscopy”, John Wiley Sons, 1996 l Graham C. Smith, Surface Analysis by Electron Spectroscopy: Measurement Interpretation”, Plenum Press, New York, 1994 l 吴正龙译， 《表面分析(XPS和AES) 引论》，华东理工大学出版社， 2008 l 黄惠忠等编, 《表面化学分析》，华东理工大学出版社，2007 l 王建祺等编, 《电子能谱学(XPS/XAES/UPS)引论》，国防工业出版社， 1992 l 刘世宏等编, X射线光电子能谱分析》，科学出版社，1988 l /~mams/escalab.html 课程目的 电子能谱学的基本物理原理？ 电子能谱能解决什么问题？ 电子能谱图怎样识别和分析？ 电子能谱实验要注意那些问题？ 主要内容(Outline) 1. 电子能谱学引论 2. 电子能谱基本原理 3. 结合能与化学位移 4. 电子能谱仪构成 5. 谱图的一般特征 6. 定性分析方法 7. 定量分析方法 8. 深度剖析方法 9. 数据处理方法 10. 在材料科学中的应用 第1章 电子能谱学引论 一、电子能谱学及其特性 二、表面灵敏性 三、表面与表面分析技术 1.1、电子能谱学及其特性 l 电子能谱学(Electron Spectroscopy)是最近四十年 来发展起来的一 综合性学科。 l 现代电子能谱学已经发展为一 独立的，完整的 学科。它与多种学科相互交叉，融合了物理学， 化学，材料学，真空电子学，以及计算机技术等 多学科领域。 l 应用最广泛的表面化学分析技术，可给出材料表 面的元素组成及其空间分布、元素化学态和化学 环境、原子和电子态、表面结构等的定性和定量 信息。是研究原子，分子和固体材料的有力工具。 电子能谱学 l 当用一定能量的微观粒子 （光子，电子，离子等）作为 探针作用于试样物质,入射粒子与物质中的原子发生相互 作用，经历各种能量转递的物理效应后，所释放出的电 子具有原子的特征信息，亦即具有特征能量。 l 通过对这些特征信息的解析，可以获得样品中原子的各 种信息,如元素种类和 量，化学环境，化学价态等。 l 收集、检测和记录和