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UF3000 基本操作 一,登入使用者账号 操作员账号：SYSTEM,密码：ACE0058 技术员账号：SYSTEM,密码：ACE0058 二,选择Device 点选1.Device set information 2. Device List Reference 3. Net Work 4. 选Device 7. Settin 二,选择Device 二,选择Device 三.放置cassette UF3000只允许放置手动开盖12寸cassette,放置到位后Placed黄灯亮起 四. 自动扫取Wafer 1.点击Loader sw 2.点击New cst 1 3.END(此时机台会自动扫取Wafer) 五.Lot Settings 1.输入LOT 2.输入工号 3.选取Wafer 3.3. Sequence load 全选 6.Lot Setting End 3.4. Sample load 抽测 3.5. Assign load 指定 六.设置Prober Bin别显示 1.选取Device Set Information 2.Pass/Fail Category Settings 3.Pass Fail Category 点选YES开启 4. Pass/Fail Category Settings 5.点选Pass/Fail Bin 6. Setting End 六.设置Prober Bin别显示 七.开启Wafer ID 功能 1.选取Operation set information 2.Wafer ID Settings 3.Perform wafer ID Reading 开 启YES 4.Wafer ID Cength 输入位数 5.Character.Settings 6.输入Wafer ID 7.END 七.开启Wafer ID 功能 七.开启Wafer ID 功能 八.开启MAP OutPut功能，OutPut map datd to Group Managent 1.选取Operation set information 2.Map output settings 3.Output Map Date点选YES 4.Output Mapduta To: 点选Group Managent 5.Settings END 八.开启MAP OutPut功能 九.确认MAP InPut功能关闭 1.选取Operation set information 2.Map INput settings 3. INput Map Date 点选NO 4. Settings END 九.确认MAP InPut功能关闭 十. 开启Continue Fail Alarm:5ea 1.选择Device set information 2.Contionuous Fail Check Settings 3.Perform Continuous Fail Checking点选YES(Fail check) 4.Tolerant # ofContinuous fail 输入5 5.Settings END 十. 开启Continue Fail Alarm:5ea 十一. 关闭清针：因UF3000未装砂纸，清针暂时关闭。 十二.检查参数. 1.确认网络ONLINE开启 2.选取Operation set information 3.确认Aligment mode为AUTO 4.确认Stop befor probing 为Stop 5.确认Loading/Unloading position 为cassette 6.ENT 退出 十三. 自动上CARD 14.1点击1.CAR