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BSRF X射线成像技术介绍
北京同步辐射装置
X射线成像技术介绍
黄万霞
2013-11-21
北京正负电子对撞机
一机两用:
对撞模式,研究高能物理,6个月
同步模式,3个月
环周长:240m
能量:2.5GeV
北京同步辐射装置
14条光束线和15个实验站
4W1A光束线(两种模式)
1. 纳米分辨三维成像
成像视场10um60um
分辨率50nm100nm
单色聚焦光束模式
2. X射线形貌术
成像视场10mm内可调
分辨率35um
3. 相位衬度三维成像
成像视场约10mm可调
分辨率315um
白光模式
一、X射线形貌术—原理
底片
光强减弱
光强增强
衍射光
入射光
晶格
衍射成像: 晶格缺陷 衍射异常 光强分布改变 产生衬度
点缺陷(微缺陷)、位错、层错、晶界、畴壁、亚晶粒、杂质分凝、裂缝等
X射线形貌术—实验方法
同步辐射白光形貌术(透射)
样品 狭缝
白光X射线
成像探测器
实验原理:当一束同步辐射白光X射线束入射到晶体样品上时,根据布
喇格衍射公式 2dhkl sin n (n=1,2,3……),晶体中不同指数面
各自分别选择相应波长的X射线,衍射形成相应的劳厄衍射斑(图5.8-
1),每个劳厄斑点就代表了相应衍射面的信息。
X射线形貌术—样品
研究对象:晶体(单晶体)
单晶样品先经过切割、磨抛成薄片状
样品尺寸:通常5mm左右
样品厚度:通常几百微米
吸收衰减公式 I I et
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