线路干膜研讨会报告100913-V1.pdfVIP

下载本文档

20
0
约1.66万字
约 32页
2017-09-19 发布于湖北
举报
版权申诉

线路干膜研讨会报告100913-V1.pdf

1、本文档共32页，可阅读全部内容。
2、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

线路干膜研讨会报告100913-V1

干膜相关问题解答旭化成电子材料(苏州)有限公司技术营业部 2010年9月13 日 1.如何减少和去除显影槽的Scum?Scum为何分子式及反应机理？处理机理显影Sludge (Scum) 单体, 引发剂, 增塑剂, 染料 = 疏水性聚合物 = 亲水性疏水性含有 –COOH 基团含有 –COOH  一旦上述疏水性物质从显影液中析出,则会凝结而产生显影Sludge 显影Sludge例子减少Sludge 减少Sludge 1. 控制抗蚀剂的溶解量 2. 水质 3. 消泡剂类型 4. 定期的保养 5. 过滤芯的密度 6. 使用防UV灯乳化基团破裂 ⇒ 疏水性物質产生 ⇒ sludge 减少显影sludge方法(1) 1.控制抗蚀剂的溶解量如果显影液中有很多的乳化基团,则它们之间很容易产生碰撞  乳化基团破裂  sludge 2 建议溶解量: 0.25m /L [对于1.5mil的干膜 (=40um)] 0.20m2/L (50um), 0.33m2/L (30um), 0.50m2/L (20um) 1% Na2CO3 如何管控 11.4 1) 计算作业板子的数量 ⊿pH=0.9 2) pH 值控制 PH 3) 電位差計 10.5 ※ 1), 2) 两种方法非常常用和方便 Resist loading (m2/L) 减少显影sludge方法(2) 2. 水质 • 建议使用纯水或DI 因为市水中含有一些离子如 Cl- 2+ 2+ , Mg , Ca etc.,还有硅的的化合物短路不良(减成法制程) 有机Sludge来自干膜抗蚀剂. MgCO3, CaCO3 的结晶物容易吸附在传送滚轮和风刀区域