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光学显微三维测量解耦合准则.pdf
第46卷第3期 红外与激光工程 2017年3月 V01．46No．3 InfraredandLaser Mar．2017 Engineering 光学显微三维测量解耦合准则 刘俭，谷康，李梦周，谭久彬 (哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所，黑龙江哈尔滨150080) 摘要：光学显微三维测量耦合效应是指沟槽或台阶样品高度测量准确性受横向周期影响产生原理 误差的现象。采用卷积不相关原则和有限能量损失原则，分别建立了薄样品和深沟槽样品光学显微三 维测量的解耦合模型，揭示了被测样品特征参数与光学仪器表征能力之间的关联关系。与现有W／3 准则相比，光学显微三维测量解耦合准则能够客观反映光学仪器表征能力受样品结构差异变化的影 响，指示高度测量解耦合评定的示值区域，预见高度测量原理误差产生，为沟槽或台阶样品三维结构 袁征提供了一种新的计量评定准则。 关键词：解耦合准则； 光学显微测量； 薄样品测量； 深沟槽测量； 台阶高度 中图分类号：TB96文献标志码：A DOI：10．3788／IRLA201746．0302001 3Dmeasurementcriterionin decoupling opticalmicroscopy Liu Jiubin Jian，Gu Kang，LiMengzhou，Tan ofUltra—Precision Instrument InstituteofTechnology，Harbin150080，China) (Center OptoelectronicEngineering，Harbin Abstract：Theeffectinthreedimensionalmeasurements referstothe coupling usingopticalmicroscopy thatthe ofthemeasurementofa or thatsuffersa phenomenonaccuracy height groovestepsample errorcausedtheinfluenceofthe smalltransverseofthe on principle by relatively period sample．Based theconvolutionirrelevance andthelimited lost models the principle energyprinciple，twodepicting thin the wereestablished effectsinmeasurementsofthe and groove coupling stepsamples deep samples the betweenthe ofthe andthe relationship
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