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两种透明介质微小折射率差高精度测量的新方法.pdf
第46卷第4期 红外与激光工程 2017年4月 No．4 InfraredandLaser V01．46 Engineering Apr．2017 两种透明介质微小折射率差高精度测量的新方法 吴婷，邹 岩，李之通，惠勇凌，李 强 (北京工业大学激光工程研究院，北京100124) 摘要：对现有折射率的测量技术进行分析，提出了一种测量两种透明介质间微小折射率差的新方法。首 先，介绍了微小折射率差干涉测量方法的原理，并对该测量原理利用Zemax光学仿真软件进行了理论模 拟论证。该实验中首先，采用热键合技术制备包含两种被测量材料的组合平板；其次，利用干涉测量仪及外 光路测量样件界面区域不同入射角下的光程差；再者，利用几何光学中的折射定律，推导折射率分布与干 涉光程差的关系式。最后，通过二次曲线拟合获得正入射时的光程差微小变化值、换算得到样件两种材料 的折射率差值。实验测量了1 10一s，测量系统精度lo。7量级。结果表明：该测量方法原理简单、操作简便，测量精度高。 关键词：光学测量； 折射率差； 干涉法； 透明介质 中图分类号：TN247文献标志码：A DOI：10．3788／IRLA201746．0417005 Novel for measurementofmicrerefractive approachhigh—precision indexdifferenceoftwo mediums transparent Wu Yan，Li Ting，Zou Zhitong，HuiYongling，LiQiang ofLaser of (Institute University 100124，China) Engineering，BeijngTechnology，Beijing Abstract：Anovelmethodtomeasuretherefractiveindexdistributionoftwo mediumswas transparent inthis after measuremethodsofrefractiveindexesinexistence．Thebasic proposed paper analyzing and methodofthemeasurementofmicrorefractiveindex betweentwo principleinterferometry change mediumswere thetheoretical ofthis transparent described，and feasibility measurementmethodwas studied Zemax simulation this from byusing optical software．Firsfly，inexperiment，acompositeplate two mediumstobemeasuredwas adhere—free transparent
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