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Venus操作维护手册1.0
Venus 200
日常操作维护手册
作者：Peter Lu 第 1 页 2009-8-9
开机
a. 打开P10 气体钢瓶上主阀。调节如下图3 号调节阀,使压力表(6)输
出压力为 0.75bar。
b. 打开He 气钢瓶主阀,调节输出压力为0.8Bar.(如果配置有冲He 系
统)
c. 打开墙上主电源开关或稳压电源开关。
d. 按下主机电源开关.(如下图).这时主机进入开机状态.
电源开关
e. 打开计算机电源。运行Venus 软件.
f. 选择仪器状态栏,检查P10 流量（1L/h 左右）.
作者：Peter Lu 第 2 页 2009-8-9
P10 气流量
g. 在下图中,点”Manual Control”, 出现Manual Control画面.在Manual
control里选择”Vacuum”, 这时切换介质到真空.
点这里
作者：Peter Lu 第 3 页 2009-8-9
点这里
h. 在下面状态图中检查真空度,是否小于100Pa.
看这里
i. 在Manual Control图中,点”Normal breed”.
作者：Peter Lu 第 4 页 2009-8-9
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