WFACCOMRevPV运行操作指导.docVIP

Document Control Document number:W-FAC-COM-027 Subject: PV Operation Instruction 标题: PV运行操作指导 Fujisawa reference no:N/A Revision 版本 : 000 Prepared by 起草人: Tiancheng Zhao Department 部门 : Facility Content Subject Page 1.0 目的 3 2.0 范围 3 3.0 职责 3 4.0 定义 3 5.0 程序 3 6.0 相关资料 6 7.0 记录 6 1.0 目的 规范运行、操作程序，确保日立设施管理的流畅； 2.0 范围 日立龙岗工厂2台 nash_elmo Process Vacuum(PV)； 3.0 职责 运行技术员：负责PV运行的监控，设备的开、停、切换； 运行班长：带领本班组技术员对日立龙岗工厂的设施运行进行监控，发现问题、解决问题，并按照汇报程序及时向上级汇报； 工程师：负责运行操作程序的编写、更新、培训，对运行操作提供技术支持，发现问 题、分析问题、解决问题，并按照汇报程序及时向上级汇报； 4.0 定义 FMCS：Facility Manage Control System 设施管理控制系统； PV：工艺真空; 5.0 程序 5.1 系统简介： 在A栋有两台工艺真空泵（PV），为生产工艺过程提供真空。PV是水环真空泵，在泵体中装有适量的水作为工作液。当叶轮旋转时，水被叶轮抛向四周，由于离心力的作用，水形成一个决定于泵腔形状的近似于等厚度的封闭圆环。水环的下部分内表面恰好与叶轮轮毂相切，水环的上部内表面刚好与叶片顶端接触（实际上叶片在水环内有一定的插入深度）。此时叶轮轮毂与水环之间形成一个月牙形空间，而这一空间又被叶轮分成和叶片数目相等的若干个小腔。如果以叶轮的下部为起点0o，那么叶轮在旋转前180o时小腔的容积由小变大，且与端面上的吸气口相通，此时气体被吸入，当吸气终了时小腔则与吸气口相隔绝；当叶轮继续旋转时，小腔由大变小，使气体被压缩；当小腔与排气口相通时，气体便被排出泵外。 系统要求： Facility Parameter Specification Actual record frequency 　 　 Other Process Vacuum -0.06 MPa -0.06 MPa Once every 3 hrs 　 　 　 　 5.2 启动前的检查： 打开排水阀门，排除气水分离器及泵浦底部之污水及杂质； 检查气水分离器内之水位； 把控制箱上的补水旋钮旋至手动位置，进行手动补水至水位在中高位之间; 打开吸气阀门； 打开液封水补水管之阀门； 确认换热器冷冻水阀门已打开； 5.3 启动（远程）： 将转换开关置于“远程”； 通知FMCS运行值班人员，设备准备就绪； FMCS运行值班人员在工作站上弹出PV主画面； 在主画面上选择PV开启； 观察控制面板上的马达电流,并观察真空压力表上的读数,额定工况下能达到的负压值为92-97KPa； 5.4 启动（本地）： 将转换开关置于“现场”； 按控制箱面板绿色按钮； 观察控制面板上的马达电流,并观察真空压力表上的读数,额定工况下能达到的负压值为92-97KPa； 5.5 运行： 机器运行中，运行技术员按照PV点检表要求，定期巡检、记录; 5.6 停机（远程）： 在FMCS工作站选择PV关闭； 运行技术员现场确认PV关闭，马达电流将降低至0A； 关闭吸气阀门； 如欲停机超过二星期以上，请排干泵浦内及机组内的水； 5.7 停机（本地）： 手动停机可按面板上红色停机按钮； 按钮按下后马达电流将降低至0A,系统停止； 关闭吸气阀门； 如欲停机超过二星期以上，请排干泵浦内及机组内的水； 5.8 停机（紧急停机） 现场拍下PV控制屏上的红色紧急停止按钮； 5.9 紧急停机后的恢复： 顺时针方向转动紧急停止按钮，使按钮复位； 操作PV控制器，复位； 5.10 切换： 正常情况下，PV每周切换一次；先按开机程序开启另外的PV；再按停机程序关停需要切换的PV; 5.11 故障紧急处理： 故障现象： 1．系统停机； 2．真空泵停机； 故障原因： 1．停电； 系统电源跳闸； 2．真空泵故障； 真空泵电机故障；