剪切电子散斑干涉术.PDF

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剪切电子散斑干涉术

20 1 Vol120 No11 2003 3 Journal of Guangdong University of Technology March 2003 郑光昭 ( , 5 10643) : , , CCD . : ; ; ; , . , . : ; ; ; Wollaston :TN247 : A : 1007-7 162( 2003) 01-0023-05 El ctric Sp ckl Sh arogarophy Patt rn Int rf rom try, ESSPI. ( El ctric Sp ckl Patt rn Int rf rom try, ESPI) . , . , . . , . 70 , , , , , , . , : , ; . , . CCD , , . , . , , , , , . , , , , . : 2002-07-03 : ( XZ200102) ; 56 ; 52001 61 : ( 1945-) , , , . 24 20 , , Y1Y1Hung . [ 1] 1992 , [2] , , , ) ) ) . ; , . 1 CCD . ; ( ) CCD , ; CCD 1 ; 1 ; 2 ; 3 ;4 ; 5 A; 7 ; 8 ; 9 CCD ; 10 . . 1 . . H - N , , , , CCD ( $) ; , . CCD , . . 2 . , CCD , , . CCD , . . , , . 2 2 1 ; 2 ; 3 ;4 ; 211 横向剪切干涉测量原理 5 A;6 B; 7 ; 8 ; 9 CCD ; 10 . 1 : 25 . [3] , , . , , . , , : , . , . . 3 . ,

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