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飞秒激光加工及其应用 罗晓娜, 刘金合, 唐建宇 ( 西北工业大学 材料学院, 陕西 西安710072) : 综述了激光短脉冲化的飞秒激光发展史, 重点论述了飞秒激光的加工机理和特点飞秒激光 独特的光束特性决定了他是 种理想的微细加工工具, 可以实现聚合物的制备, 可以对各种透明材料内部 进行三维加工和改性, 另外在生物学领域也有着独特的应用本文最后还展望了飞秒激光加工未来的发 展方向 : 短脉冲化; 飞秒激光; 微细加工 : TG 456. 7 : A 1994 , 10 fs [ 45] 1960 , 1993 , , 20 , [ 6] , , , [ 1] , Yb , , 1 [ 7] , 2 , , , , 1 10- 13 s20 , , , , , , , , Q , 10- 8 s 1965 21 [ 2] , , [ 8] 70 , , , , , 1985 R. L. Fork , 27 fs 1987 , , [ 9] , 6 fs , , I P , 1991 S ence , , , 60 fs I P [ 3] 12 14 2 , 10 ~ 10 W/ cm , , , ; I P 48 ! 2008 2 14 16 2 10 ~ 10 W/ cm , , , ; , , , 16 2 , I P 10 W/ cm , , , , , , , ,
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