PECVD设备标准作业指导书(必威体育精装版).pdf

下载文档

229
0
约15.18万字
约 156页
2017-09-10 发布于河北
举报
版权申诉
保障服务

PECVD设备标准作业指导书(必威体育精装版).pdf

1、本文档共156页，可阅读全部内容。
2、有哪些信誉好的足球投注网站（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。
3、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击这里二次下载。
4、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。

PECVD设备标准作业指导书(必威体育精装版)

exact S.C New Energy Technolgy Corporation www.C 内部必威体育官网网址文件 PECVD 标准作业指导书（必威体育精装版） 2013 年6 月编 1 exact S.C New Energy Technolgy Corporation www.C 内部必威体育官网网址文件目录第1 章安全知识 9 1.1 安全标识说明 9 1.2 安全知识说明 10 1.2.1 一般安全知识 10 1.2.2 安全装置 11 1.2.3 安全装置系统功能（一） 11 1.2.4 安全装置系统功能（二） 11 1.2.5 用户公司安全须知（一） 12 1.2.6 用户公司安全须知（二） 12 1.2.7 维护及预防性维护（一） 12 1.2.8 维护及预防性维护（二） 13 1.2.9 电气系统 13 1.2.10 工艺气系统 14 1.2.11 设备上的安全标签 14 1.2.12 消防安全 15 1.3 气体安全 15 1.3.1 氮气（N2 ） 15 1.3.2 氨气（NH3 ） 15 1.3.3 硅烷(SiH4) 16 1.3.4 笑气（N2O ） 16 第2 章技术数据 17 2.1 尺寸与重量(详见设备铭牌) 17 2.2 介质连接 17