衍折射设计用于均匀照明的衍射光学器件『.PDFVIP

第 卷第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ， ２１ ８ Ｖｏｌ．２１ Ｎｏ．８ 　 　 年 月 ， ２００９ ８ ＨＩＧＨ ＰＯＷＥＲＬＡＳＥＲＡＮＤＰＡＲＴＩＣＬＥＢＥＡＭＳ Ａｕ． ２００９ 　 ｇ 　 文章编号： （ ） １００１４３２２２００９０８１１６５０５ 　 衍折射设计用于均匀照明的衍射光学器件 ， １ １ １ １ １２ 石 鹏 ， 刘 强 ， 曹国威 ， 李 珂 ， 李永平 　 　 　 　 　 　 　 （ 中国科学技术大学 物理系，合肥 ； 中国科学院 量子信息重点实验室，合肥 ） １． ２３００２６ ２． ２３００２６ 　 摘 要： 在工艺上衍射光学元件是通过相位板来实现的，由于其多台阶化产生的不连续性，会对目标光 　　 　 　 场产生 调制，产生高级次衍射斑，损失了 或者更多能量。通过对设计衍射光学器件的传统的 迭代 ｓｉｎｃ １５％ ＩＯ 算法进行了研究，提出了一种与衍折射相结合的设计方法，在衍射光学器件的部分区域形成一块连续相位区 域，减少了相位片台阶化区域的光强和衍射斑的强度。通过逐步变化连续相位对输出光强情况的影响的研究， 可以优化相位参数，使入射到输出面的光束保证一定匀滑性的前提下，提高 目标光场区域的衍射效率达到 ９０％以上，能够满足均匀照明的要求。 关键词： 衍射； 衍折射； 算法； 衍射光学器件； 均匀照明 ＩＯ 　　 　 　 　 　 　 中图分类号： ； 文献标志码： ＴＬ６３２ Ｏ４３６．１ Ａ 　　 　 　 　　　　 　 衍射光学元件（ ）可将多个复杂的光学功能集成在一个单元器件上，可以将入射光束变换为所需的强 ＤＯＥ 　　 ［ ］ １２ 度分布，是实现均匀照明最有前途的解决方案之一，成为了各国研究的热点 。ＤＯＥ的设计过程可以视为相 ［］