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3D集成电路中的TSV技术概要北京航空航天大学电子信息工程学院马志才TSV技术简介TSV(through silicon via)技术是穿透硅通孔技术的缩写，一般简称硅通孔技术，是三维集成电路中堆叠芯片实现互连的一种新的技术解决方案。由于TSV能够使芯片在三维方向堆叠的密度最大、芯片之间的互连线最短、外形尺寸最小，并且大大改善芯片速度和低功耗的性能，成为目前电子封装技术中最引人注目的一种技术。如图1.1所示是4层芯片采用带载封装方法(tape carrier package，TCP)(见图1.1(a))和采用TSV方法(见图1.1(b))封装的外形比较。业内人士将TSV称为继引线键合(wire bonding)、载带键合(TAB)和倒装芯片(FC)乏后的第4代封装技术。图1.1 TSV 封装外形比较TSV及其技术优势??????缩小封装尺寸；高频特性出色，减小传输延时、降低噪声；降低芯片功耗，据称，TSV可将硅锗芯片的功耗降低大约40%；热膨胀可靠性高。3．TSV的主要技术环节1)通孔的形成??? 晶片上的通孔加工是TSV技术的核心，目前通孔加工的技术主要有两种，一种是深反应离子刻蚀，另一种是激光打孔。??? 激光技术作为一种不需掩模的工艺，避免了光刻胶涂布、光刻曝光、显影和去胶等工艺步骤，已取得重大进展。然而，未来当TSV的尺寸通孔降到lOUm以下时，激光钻孔就面临着新的挑战。??? 目前这两种技术的细节及其选择仍然在探索中，不过一些先期进入的厂商已经推出相应的加工设备。??? 此外，形成通孔后还有绝缘层、阻挡层和种子层的淀积以及孔金属化等工艺技术。图3.1是6个芯片堆叠采用TSV封装的存储器示意图。图3.1 采用TSV封装的存储器示意图2)晶片减薄如果不用于3D封装，目前0.3～0.4mm的晶片厚度没有问题，但如果晶片用于3D封装则需要减薄，以保证形成通孔的孔径与厚度比例在合理范围，并且最终封装的厚度可以接受。即使不考虑层堆叠的要求，单是芯片间的通孔互连技术就要求上层芯片的厚度在20～30μm，这是现有等离子开孔及金属沉积技术比较适用的厚度。目前较为先进的多层封装使用的芯片厚度都在100μm以下。未来芯片厚度将达到25μm甚至更小。??? 晶片减薄目前采用磨削加工，要经过粗磨、精磨和抛光等不同的加工工序。晶片减薄技术中需要解决磨削过程晶片始终保持平整状态，减薄后不发生翘曲、下垂、表面损伤扩大、晶片破裂等问题。3) TSV键合??? 完成通孔金属化和连接端子的晶片之间的互连通常称为TSV键合技术。这种技术采用的工艺有金属一金属键合技术和高分子黏结键合等，而目前以金属一金属键合技术为主要方式，因为这种技术可以同时实现机械和电学的接触界面。例如铜一铜键合在350～4000C温度下施加一定压力并保持一段时间，接着在氮气退火炉中经过一定时间退火而完成TSV键合。现在这种TSV键合已经有相应设备问世。??? 图3.2是已经完成通孔处理并将多层芯片键合的TSV封装剖面图。?????????????????????????? 图3.2 TSV封装剖面图TSV的技术关键3D IC技术继续向细微化方向发展，硅通孔3D IC互连尚待解决的关键技术之一是通孔的刻蚀。TSV穿孔主要有两种工艺取向——先通孔(via first)和后通孔(via last)，前者是在IC制造过程中制作通孔，后者在IC制造完成之后制作通孔。先通孔工艺又分为两种——前道互连型和后道互连型。前者是在所有CMOS工艺开始之前在空白的硅晶圆上，通过深度离子蚀刻( DRIE)实现，由于穿孔后必须承受后续工艺的热冲击（通常高于1000℃），因而多使用多晶硅作为通孔填充材料；而后道互连型则是在制造流程中在制造厂实现的，一般使用金属钨或铜作为填充材料。显然，先通孔方法必须在设计IC布线之中预留通孔位置，在IC器件制造完成之后，在预留的空白区域进行穿孔，一般采用激光钻孔的方式，通过电镀镀铜实现孔金属化，因而具有更好的导电性能。这两种方法哪个会占据主导地位，以及其中诸多技术细节仍然需要探索研究。在晶圆制造CMOS或BEOL步骤之前完成硅通孔通常被称作Via-first。此时，TSV的制作可以在金属互连之前进行，实现core-to-core的连接。该方案目前在微处理器等高性能器件领域研究较多，主要作为SoC的替代方案。Via-first也可以在CMOS完成之后再进行TSV的制作，然后完成器件制造和后端的封装。而将TSV放在封装生产阶段，通常被称作Via-last，该方案的明显优势是可以不改变现有集成电路流程和设计。目前，部分厂商已开始在高端的Flash和DRAM领域采用Via-last技术,即在芯片的周边进行通孔，然后进行芯片或晶圆的层叠。Aviza公司David Butler 10月在SE