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不同B注入扩散前后浓度分布曲线图(新)doc
不同B注入扩散前后浓度分布曲线图(新)一、B注 80kev 1E15 图1 扩散前浓度分布曲线图（结深0.78um）图2 扩散1200oC 180min时的浓度分布曲线图（结深8um）图3扩散1200oC 1800min时的浓度分布曲线图（结深21um）图4扩散1200oC 3600min时的浓度分布曲线图（结深28um）图5 30kev/1e15扩散1200oC 14400min时的浓度分布曲线图（结深50um）图6 30kev/1e15扩散1250oC 14400min时的浓度分布曲线图（结深75um）图7 30kev/1e15扩散1350oC 14400min时的浓度分布曲线图（结深125um）二、B注 80kev 1E14图8扩散前浓度分布曲线图（结深0.75um）图9扩散1200oC 180min时的浓度分布曲线图（结深7um）图10扩散1200oC 1800min时的浓度分布曲线图（结深18um）图11扩散1200oC 3600min时的浓度分布曲线图（结深25um）
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