集成式微操作器研制.pdfVIP

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2017-09-06 发布于北京
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集成式微操作器研制.pdf

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第卷第期机器人 ΡΟΒΟΤ ∂ 年月文章编号222 集成式微操作器的研制Ξ 荣伟彬曲东升孙立宁祝宇虹楼超飞哈尔滨工业大学机器人研究所哈尔滨摘要微操作器是微操作机器人的关键部件本文基于压电扫描器的工作原理研制出压电陶瓷管驱动的三自由度微操作器通过对四分压电陶瓷管的变形进行静力学分析建立了微操作器微位移量与驱动电压的关系模型研制出微位移检测电路实现了微操作器机构驱动检测的集成化设计了微位移闭环控制实验系统对微操作 ! ! 器进行了静态动态测试得到了微操作器的主要性能指标实验表明所研制的微操作器能够满足微纳米定位精度 ! 的微操作需要关键词微操作机器人微操作器压电陶瓷管建模微位移检测中图分类号 ×° 文献标识码 ΔΕςΕΛΟΠΜΕΝΤΟΦΙΝΤΕΓΡΑΤΕΔ ΜΙΧΡΟΜΑΝΙΠΥΛΑΤΟΡ 2 2 2 2 2 • ± ⁄ ≥ ≠∏ ≤ ΡοβοτΡεσεαρχηΙνστιτυτε ΗαρβινΙνστιτυτεοφ Τεχηνολογψ Ηαρβιν Αβστραχτ ∏∏ 2 2 ∏√∏√ ∏∏∏ × ∏ √√∏ × ∏∏√ ∏ ∏ 2 ¬ × ∏√ ∏∏ ≥ ∞¬ ∏∏2 2 ∏ Κεψωορδσ ∏∏ ∏ ∏