高真空直排大气干泵必威体育精装版进展.pdfVIP

第 28 卷 　第 1 期 真 　空 　科 　学 　与 　技 　术 　学 　报 　　　　　　　 　　　　　　　　　　　 2008 年 1 、2 月 CHINESE JOURNAL OF VACUUM SCIENCE AND TECHNOLOGY 2 1 综述评论 　 高真空直排大气干泵的必威体育精装版进展 刘 　坤 　巴德纯 　杨乃恒 　常学森 　李 　涛 　陈　瑶 (东北大学真空与流体工程研究中心 　沈阳　110004) Latest Progress of High Vacuum Dry Pump Working Against Atmosphere Liu Kun ,Ba Dechun ,Yang Naiheng ,Chang Xuesen ,Li Tao ,Chen Yao ( N ortheastern University , S heny ang 11004 , China) 　　Abstract 　The latest progress of high vacuum dry pump s ,working against atmosphere ,was tentatively reviewed . The discussions focused on the pumping mechanisms ,its structures and performance of the two types of commercially avail able ,EPX and On Tool dry pump s ,produced by Edwards and Pfeiffer ,respectively . 　　Key words 　Dry vacuum pump ,High vacuum ,Discharge directly into atmosphere ,Latest progress 摘要 　为了降低半导体设备中的真空系统的成本 、实现高真空获得设备的清洁化 、简单化和微型化 ,人们一直在寻求能 　　 达到高真空并且直排大气的干式真空泵 。近几年 , 国外已经出现了仅用一台泵就可以实现从高真空到大气的全部抽气过程 的高真空直排大气干泵 ,并实现了商业化 , 已经应用于实际生产中。本文以其中具有代表性的英国BOC Edwards 公司的 EPX 干泵和德国 Pfeiffer Vacuum 公司的OnTool 干泵为例 ,简单介绍了其原理 、结构 、性能 ,为国内从事真空应用和干泵研发人员提 供参考 。 关键词 　干式真空泵 　高真空 　直排大气 　研究进展 ( ) 中图分类号 :TB752 　　　文献标识码 :A 　　　文章编号 2008 0102105 　　近年来 ,人们已研制了多种类型的干泵 ,广泛用 的泵 。此外 ,在现代工业中的一些真空应用场合 ,如 于半导体工业 、分析仪器、电子工业和化工行业等真 太阳能电池制备 、半导体器件制备 、小型精密实验设 空应用的各个领域 。干泵或干泵机组维护简单、清洁 备等 , 由真空泵机组带来的占用空间庞大 、维护麻 无油 ,经常是真空获得设备中首选的主泵 。比如 ,半 烦 、抽气效率损失等问题 ,影响了工艺的进行 。 导体行业中的真空室中,一般需要达到 10 - 3 Pa 或者 为了降低半导体设备中真空系统的成本 ,实现高 更高的真空度 ,这时就需要为它们配置高真空系统 。 真空获得设备的清洁化、简单化和微型化 ,人们一直 一般说来 ,为了获得清洁高真空 ,需要串联多台工作 在